净化车间是指将一定空间范围内的空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内之温度、湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
净化车间之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触的大气的洁净度以及温湿度
防护服净化室
净化车间是指将一定空间范围内的空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内之温度、湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
净化车间之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触的大气的洁净度以及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为净化车间。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。
建议洁净车间内人员安排要合理,做到生熟工序人员不交叉、不窜岗,不可安排过多人员,工作人员注意个人卫生,勤剪指甲,勤洗头,勤换洗衣服,进车间要洗手消毒,更换工作鞋、工作服,佩戴手套、口罩,离开车间后重新进入需重新完成洗手更衣程序。所有操作人员进入无尘车间必须戴上口罩头发严禁外露、袖口上卷,进入作业区必须按照作业要求戴上手套,按照作业指导书的要求进行操作过滤器,操作期间严禁戴上手套摸脸,头发等造成硅片的操作污染影响电池的外观。
对于上下道工序的交接必须实行操作人一对一,流程单和硅片实物交接交接人对单上的数量负责任,如发现少片现象需找上道工序弄清状况,确认是否因为少片没有记录,对于发现少片又不找上道工序自己乱改流程单。
根据GMP规范要求,洁净室在设计和安装时应考虑使用中避免出现不易清洁的部位,本工程在进行净化装修时,门窗安装与建筑、净化空调、各种管线、照明灯具的结合部位缝隙要密封处理。所有的配件、隔墙、吊顶的固定和吊挂件只能与主体结构相连,不能与设备和管线支架交叉混用,防止因微震引起装饰材料松动和灰尘脱落。建筑装饰和门窗的缝隙应在正面密封。
严格控制材料设备质量
洁净室材料设备主要有各类装饰材料和空调设备材料。对装饰材料应严格按有关工程技术标准、施工质量验收规范和设计文件的要求进行检验和验证。洁净室应使用不产尘、不积尘、耐腐蚀、防潮防霉和容易清洁并具有防火功能的材料,不能使用木材和石膏板作表面装饰材料。空调保温材料也必须符合有关规定达到耐腐蚀、不产尘、不附着灰尘和防火等要求。
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