影响镀膜机磁控靶点火电压的因素有哪些
靶材对点火电压的影响
(1)阴极靶材的不同材质,因溅射的能量阀值的不同,一般溅射“逸出功”较小的阴极靶材,其点火电压和工作的电压要低一些,反之则会高一些。(2)铁磁性靶材(铁、钴、镍、氮化铁等)和铁素体靶材,会偏转和减少阴极溅射靶面磁场对磁控靶造成影响。靶面磁场的降低,使磁控靶需要很高的电压才能点火起辉。(
镀金真空电镀机
影响镀膜机磁控靶点火电压的因素有哪些
靶材对点火电压的影响
(1)阴极靶材的不同材质,因溅射的能量阀值的不同,一般溅射“逸出功”较小的阴极靶材,其点火电压和工作的电压要低一些,反之则会高一些。(2)铁磁性靶材(铁、钴、镍、氮化铁等)和铁素体靶材,会偏转和减少阴极溅射靶面磁场对磁控靶造成影响。靶面磁场的降低,使磁控靶需要很高的电压才能点火起辉。(3)点火电压与磁控靶靶材溅射面积和真空腔体的机械尺寸大小有关。靶材溅射面积大,或是真空腔体的机械尺寸大,相应充入工作气体的数量值较多,在同一阴-阳极电压下,工作气体例如气电离出导电正离子和电子亦增多,导致点火电压下降(在镀膜时还会造成磁控靶溅射电压一定程度上的降低)。
磁控溅射镀膜靶电源的空载电压
(1)靶电源输出的空载电压主要供磁控靶“点火起辉”用,其峰值电压大体可分为三挡,即:800V-1KV-1.2(或1.3)KV左右。(2)大约在5KW以下的靶电源输出空载电压的峰-峰值Vp-p一般在1~1.3KV左右;5KW以上的靶电源其输出的空载电压的峰-峰值Vp-p大约在800~1KV;且电源功率越大,其输出的空载电压越接近偏小值。(3)铁磁性靶材(铁、钴、镍、氮化铁)以及其它铁素体靶材,在选用靶电源输出的空载电压时,须选择靶电源输出空载电压峰-峰值Vp-p范围的偏大数值。
真空镀膜机技术中的磁控溅射镀膜优势所在镀膜技能商品技能特色
据调查显示,对于沉积速率,真空镀膜机技术中的磁控溅射镀膜运用效果很好。有项研究就是对平衡磁控溅射镀膜和非平衡磁控溅射镀膜进行各种对比。在这两者之前,对其成膜的沉积速率的不同作出了实验研究。
在实验中,通过是平衡磁控溅射的基础上增加附加的线圈来控制磁场的变化,形成非平衡磁控溅射条件,这种附加线圈可以改变磁场电流,调整在整个靶材表面所存在的磁场状况,从而使其产生的离子密度更高,在研究数据中显示,当离子密度提高,成膜的沉积速率也相应提高,通过这种调整电流的方式,可以提高磁控溅射镀膜时的沉积速率。
把靶材与基底之间的距离改变,当距离越大,沉积速率就越低,相反就越高,所以要设定好靶材与基底的距离,距离大了,离子随着磁场所产生的电流沉积到基底上的时间就长了,在此时间内受到真空镀膜设备中的气体散射的影响就多了,离子密度相对降低,距离短就受影响少,离子密度就高,但不是越短越好的,太短距离就相对减少成膜的面积,所以这个距离需要拿捏好,可以提高磁控溅射镀膜时的沉积速率。从上述的表述我们可以知道,磁控溅射镀膜机的技术还是十分有效的
真空镀膜设备多弧离子镀膜工艺
真空镀膜设备多弧离子镀膜工艺不仅避免了传统表面处理的不足,且各项技术指标都优于传统工艺,在五金、机械、化工、模具、电子、仪器等领域有广泛应用。催化液和传统处理工艺相比,在技术上有哪些?
1、多弧离子镀膜不用电、降低了成本、成本仅为多弧离子镀膜镍的二分之一,真空镀膜机多弧离子镀膜铬的三分之一,不锈钢的四分之一,可反复利用,大大降低了成本。
2、多弧离子镀膜易操作、工艺简单、把金属基件浸入兑好的液体中“一泡即成”,需要再加工时不经任何处理。

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