化学气相沉积法在金属材料方面的使用
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钯的化学气相沉积Pd 及其合金对氢气有着极强的吸附作用以及特别的选择渗透性能,是一种存储或者净化氢气的理想材料。对于Pd 的使用大多是将钯合金或是钯镀层生产氢净化设备 。其二,各种活性基团向薄膜生长表面和管壁扩散输运,同时发生各反应物之间的次级反应。
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钯的化学气相沉积Pd 及其合金对氢气有着极强的吸附作用以及特别的选择渗透性能,是一种存储或者净化氢气的理想材料。对于Pd 的使用大多是将钯合金或是钯镀层生产氢净化设备 。其二,各种活性基团向薄膜生长表面和管壁扩散输运,同时发生各反应物之间的次级反应。也有些学者使用化学气相沉积法将钯制成薄膜或薄层。具体做法是使用分解温度极低的金属有机化合物当做制备钯的材料,具体包括:烯丙基Pd(η-C3H5) (η-C5H5)以及 Pd(η-C3H5)(CF3COCHCOCF3)之类的材料,使用这种方式能够制取出纯度很高的钯薄膜。
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