特种气体系统的设计与施工
特气输送系统是指：将特种气体从气源端、根据工艺设备的工艺需求、通过对流量和压力等参数的控制，通过管道、无二次污染、稳定的输送到工艺设备的用气点。
其基本流程是：气源→控制柜→管道传输→用气点
分类
特种气体根据气体性质不同一般分为：惰性气体、易1燃易1爆气体、有毒气体和腐蚀性气体；根据供应包装的不同分为：特种气体和大宗特种气体。
高纯度特种气体公司
特种气体系统的设计与施工
特气输送系统是指：将特种气体从气源端、根据工艺设备的工艺需求、通过对流量和压力等参数的控制，通过管道、无二次污染、稳定的输送到工艺设备的用气点。
其基本流程是：气源→控制柜→管道传输→用气点
分类
特种气体根据气体性质不同一般分为：惰性气体、易1燃易1爆气体、有毒气体和腐蚀性气体；根据供应包装的不同分为：特种气体和大宗特种气体。
辅助系统的设计
气体房和气柜还须有自动喷淋系统，但有的气体如三氟化氯,硅1烷遇水反应，这时就还需要考虑采用二氧化碳灭火系统。
排风系统和放空系统也是特气系统的重要组成部分。其排风系统也根据危险品性质分成普通排风系统（GEX）、酸性排风系统（SEX）、溶剂排风系统（VEX）、氨气排风系统（AEX）。一般的惰性气体则是以开放式的气瓶架(GasRack)与阀门盘进行供应。普通排风系统采用镀锌铁皮风管，酸性排风一般采用玻璃钢风管，溶剂和氨气排风一般采用不锈钢风管。气柜的排风也是根据其性质接入上面不同的排风系统。
特种气体施工方法：
在管道安装前，应绘制管道轴侧图，标明管道的长度和焊口的详细位置。绘图时应多考虑焊接的操作空间，并尽量着气流的方向进行安装。在这里要特别提出的是对输送强腐蚀性气体的耐腐蚀性强的VM管进行对接施焊时，其充气时间必须要达到4-5分钟，而且必须不间断充气。为了防止微粒污染，管道的所有预组装加工应在临时净化间内进行。管子在切割过程中应防止变形或划出痕迹，在切割的过程中用高纯氩气进行吹扫以避免污染。切割完后，用刮削工具将端口刮削至平整，光滑，如端面不平，用工具将未端平整。焊接接口的好坏将直接影响到焊缝的质量，从而影响整个配管安全。
电子气体是超大规模集成电路、平板显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池等电子工业生产不可或缺的原材料。在半导体的生产过程中，从芯片生长到后器件的封装，几乎每一步、每一个环节都离不开电子气体。4、切割、焊接的介质，应用于电光源工业、玻璃制造、机械加工、航空航天1、基础建设等。电子气体成本占IC材料总成本的5%~6%。电子气体的纯度对芯片质量有很大的影响。在电子工业中用的气体统称为电子特种气体，它是当今兴起的高技术含量、高投人、高附加值的高新技术产业。
（作者： 来源：）
