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EM 系列泵是结实的机械油封泵，抽速为 0.7 到 275 m3/hr（30 到 206 CFM）。半导体加工我们继续革新技术解决方案，这些解决方案将会提升制程正常运转时间、产量、吞吐量与安全认证水平，同时通过减轻不利于环境的排放、延长产品使用寿命并降低持续服务成本，努力协调平衡往往相互冲突的更低拥有成本要求。这些泵结构紧凑，使用时非常安静，具备的润滑回路，可靠性高，配有各种附件，可以满足特定的应用需求。 Edwards E2M80 油封式旋片真空泵 爱德华真空泵Edwards真空泵 旋片泵 油回转高真空泵 爱德华 E2M80 油封式旋片真空泵 Edwards真空泵
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