化学气相沉淀化学气相沉淀 (CVD) 系统具有 多种配置用于沉积多种类型的薄膜。制程 还以不同的压力和流量状态运行，其中的许多状态 都使用含氟的干燥清洁制程。含氧成分高的工况，旭选用特殊的真空泵油，如合成油等当没有合适的油，可选择汉族要质量指标（黏度）相近的真空泵油替代，当规定的规定的真空泵油到货后，应马上更换替代油品。所有这些可变因素意味着您 需要咨询我们的应用工
爱德华干式真空泵维修
化学气相沉淀化学气相沉淀 (CVD) 系统具有 多种配置用于沉积多种类型的薄膜。制程 还以不同的压力和流量状态运行，其中的许多状态 都使用含氟的干燥清洁制程。含氧成分高的工况，旭选用特殊的真空泵油，如合成油等当没有合适的油，可选择汉族要质量指标（黏度）相近的真空泵油替代，当规定的规定的真空泵油到货后，应马上更换替代油品。所有这些可变因素意味着您 需要咨询我们的应用工程师之一来选择适当的泵 和气体减排系统以便大程度地延长我们产品的维修间隔并 延长您制程的正常运行时间。
干泵选择
CVD 制程通常需要通过选择适当的 干泵产品来克服四个特定挑战。这些挑战是：
粉末
许多制程会产生 大量粉末副产品。需要将真空泵设计成 能够处理这些粉末而不被卡住。在某些情况下，粉末实际上可能 很粘或需要高温运行才能确保粉末中夹带的其他 副产品不在泵内部冷凝并卡住泵机构。型号：RV3、RV5、RV8、RV12●中型EM系列泵是结实的机械油封泵，抽速为18和28m3/hr。 对于几乎所有产生粉末的制程，您将不得不使用 采用高扭矩电机的泵，以确保泵在应力下保持 旋转。
冷凝
半导体 制程的某些副产品含有气体，当气体分压 增加或与冷表面接触时，这些气体会从气 相变为固相。在泵送这些副产品时， 您将需要非常热的泵，是从入口到出口 具有尽可能一致的温度分布的泵。
腐蚀
有些制程 需要泵送卤化物。尤其是需要含氟的清洁制程来 保持舱室的清洁性，但被激的氟自由基 可能会侵蚀泵的内表面。如果制程主要使用 可能对泵造成腐蚀的化学品，您需要确保可以 将泵温度设置为一个较低值以降低腐蚀风险。我们的泵设计 具有可选的温度设和高旋转 速度以降低腐蚀风险并降低泵中不可避免 发生的总体材料损失速率。6l电源供给240V/380V/400V/415V220-240/380-415V50Hz3380-400/400-415V60H。对于某些 CVD 制程，需要在温度设上 达到平衡，以确保避免任何冷凝问题， 同时不使腐蚀速度过高。
爱德华70#真空泵油应用：
真空泵油适用于往复式增压泵、机械增压泵和油封机械真空泵等使用，亦可用于各种扩散真空泵等。推荐用于工艺品、陶瓷、化学等领域的真空泵使用。
供应英国爱德华19号真空泵油，规格4L /208L现货，爱德华真空泵油用于E2M175/275/80/40,油式旋片泵，看真空泵型号选用油号对用，因为真空泵油粘度不一样。
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