电子束蒸发的优点在于:
电子束的光斑可以随意调整,可以一枪多用,灯丝可以隐藏,避免污染,可以蒸发任意镀膜材料,维修方便,蒸发速度可以随意控制,材料分解小,膜密度高。机械强度好。溅射方式是用高速正离子轰击靶材表面,通过动能传输,令靶材的分子(原子)有足够的能量从靶材表面逸出,在产品表面凝聚形成薄膜。用溅射的方法制镀的薄膜附着性强,薄膜的纯度高,可以同时溅
光学镀膜设备
电子束蒸发的优点在于:
电子束的光斑可以随意调整,可以一枪多用,灯丝可以隐藏,避免污染,可以蒸发任意镀膜材料,维修方便,蒸发速度可以随意控制,材料分解小,膜密度高。机械强度好。溅射方式是用高速正离子轰击靶材表面,通过动能传输,令靶材的分子(原子)有足够的能量从靶材表面逸出,在产品表面凝聚形成薄膜。用溅射的方法制镀的薄膜附着性强,薄膜的纯度高,可以同时溅射多种不同成分的材料,但是对靶材的要求高,不能象电子枪一样节约资源。目前运用多的有磁控溅射,磁控溅射是指平行于阴极表面施加强电场,将电子约束在阴极靶材表面附近,提高电离效率。它是操作简单的一种,所以运用非常广。
冲压件真空镀膜设备
工具经冲压件真空镀膜设备硬质涂层处理后,其性能更稳定,可出稳定、高质量的工件,可防止功能性表面、刀刃和拉伸半径受到磨损,显著延长工具的使用寿命;使用寿命的延长和行程率的提高在提高生产率的同时降低了单位成本;底层坚硬而顶层摩擦低的涂层系统,降低了粘附磨损,从而可能减少对环境产生不良影响的润滑剂的用量,甚至完全不使用润滑剂;因为涂层减少了工具负荷并因而降低了破损风险,生产可靠性得以提高,对于金属薄板成型工具,涂层可用作磨损指示器,磨损和冷焊的减少改进了工件的表面质量,也使工件能够满足对其外观的更高要求,光洁度也与随后的电镀工艺更加相匹配。
真空镀室的真空密封和室内运动部件的设计和用材,充分考虑可承受高温,配置多只园形电弧蒸发源,或配多个矩形平面电弧蒸发源,也可配多只空心阴极枪,同时配置耐冲击的、具有优异灭闪弧性能的偏压电源,保证足够等离子体密度和反应活性,提高膜层致密性和结合力。工件可三维运动,提高膜层均匀性。全自动控制提高工艺稳定性。
多层减反增透膜在工艺上一般有以下特点:
(1)一般在镜头的片的第二面或第二片上镀多层减反膜,以增加装饰效果。多层宽带减反增透膜以翠绿色较多,比较美观。
(2)一般在曲率半役较大的表面上镀多层膜,以便在工艺上使多层膜的膜色保证均匀。
(3)一般在低折射率材料的镜片上镀膜。对单层减反膜而言,低折射率基底的减反效果不如高折射率基底的减反效果。而对多层膜而言,多层膜的设计可以在不同折射率基底的材料上实现几乎相近的减反效果。
(4)根据经验,镀膜面数在16个左右时,选用2个面镀多层膜;镀膜面数在10个左右时,选用一个面镀多层膜即可基本满足技术要求。选用多层减反膜,一般在同牌号的玻璃,或折射率接近的不同基底上实施。这样可以只设计一种多层膜膜系。更重要的是,从工艺实施上更为方便,从保证上更为有利。
真空镀膜机原理和各部件分析
真空镀膜机原理和各部件分析
一、真空主体——真空腔根据加工产品要求的各异,真空腔的大小也不一样,目前应用多的有直径1、3M、0、9M、1、5M、1、8M等,腔体由不锈钢"target=_blank>不锈钢材料制作,要求不生锈、坚实等,真空腔各部分有连接阀,用来连接各抽气泵浦。
二、辅助抽气系统:排气系统为镀膜机真空系统的重要部分,主要有由机械泵、增压泵(主要介绍罗茨泵)、油扩散泵三大部分组成。此排气系统采用“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成。排气流程为:机械泵先将真空腔抽至小于2、0*10-2PA左右的低真空状态,为扩散泵后继抽真空提供前提,之后当扩散泵抽真空腔的时候,机械泵又配合油扩散泵组成串联,以这样的方式完成抽气动作。

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