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中山VARIAN分子泵维修厂家企业,广州帕纳

广州帕纳光电科技有限公司----VARIAN分子泵维修厂家; 分子泵的抽气机理与机械泵靠泵腔容积变化进行抽气的机理不同,利用了动量传递原理,使分子定向流动而被排出泵外,从而达到抽气的目的。  分子泵在电机的带动下高速旋转,采用变频电源驱动电机,目的是得到较高的转速。 分子泵是一种真空泵,它使用高速旋转的转子将动量传递到气体分子以获得方向速度,从而将
VARIAN分子泵维修厂家









广州帕纳光电科技有限公司----VARIAN分子泵维修厂家;


分子泵的抽气机理与机械泵靠泵腔容积变化进行抽气的机理不同,利用了动量传递原理,使分子定向流动而被排出泵外,从而达到抽气的目的。  分子泵在电机的带动下高速旋转,采用变频电源驱动电机,目的是得到较高的转速。



分子泵是一种真空泵,它使用高速旋转的转子将动量传递到气体分子以获得方向速度,从而将其压缩并驱动到上一级的排气口。
维护分子泵的操作要求:

1.分子泵的气体回路接口的连接法兰的螺钉应朝上,以防止松弛引起的空气泄漏;

2.分子泵不能在大气中打开,必须在达到10Pa时打开。 打开相应的高压阀以启动分子泵;






当M2(方框2)或M7的真空度始终没有到位时,请检查旋片泵的电磁阀是否正常工作;

打开分子泵之前,必须先打开冷却水阀。 分子泵的叶轮停止后,必须关闭冷却水阀;

.每次停机后,必须清洗每个分子泵的入口,以保持其清洁,以避免不必要的损坏;

当出现警告信息“ EF”时,检查冷却水通道是否畅通,并用机枪进行检查。 在再次打开分子泵之前,请确保水路畅通。 当出现其他报警信号时,严禁再次启动分子泵进行后处理。



在分子流区域内,气体分子与高速转到的叶片表面碰撞,动量传递给气体分子,使部分气体分子在刚体表面的运动方向上,产生定向流动而被排出泵外,从而达到抽气的目的。随着材料科学的发展,分子泵转子材料也发生了变化,可用硬铝合金、碳纤维、钛合金等高硬度材料制成,这使转子的转速得到进一步提高。通常把用高速运动的刚体表面携带气体分子,并使其按一定方向运动的现象称为分子牵引现象,利用这一现象制成的真空泵称为牵引分子泵;






涡轮分子泵的转子叶片具有特定的形状,在它以20000~30000r/min的高速旋转的同时,叶片将动量传给气体分子。叶片高速旋转,其周边的线速度一般200~300m/s,相当于空气分子平均速率的一半。隔膜泵的极限真空足以满足高真空泵的前级耐压需求,用VARIAN分子泵维修厂家时,真空达0。为了获得高真空,涡轮分子泵中装有多级。上级叶片输送过来的气体分子又会收到下级叶片的作用继续被压缩到更下级。因此,涡轮分子泵的的一个特点是对一般气体的抽出极为有效。例如对于氮气,其压缩比可以达到109 但是涡轮分子泵抽除分子质量较小的气体能力较差,例如氢气,其压缩比仅有103 。


新设计了独立和一体式控制器,还开发了全新的智能控制软件。答:注意水温和水流量,冷却不良会导致无故停机、碎泵、油变黑等。新的控制软件使用智能算法根据气体负载的变化和实时温度,自动调整泵的功率,并且为三种典型气体分别做了专有的控制曲线。控制器新增加的主动刹车功能可在不破空的情况下停机,节省工艺时间并尽可能的缩短分子泵在共振区停留的时间,延长了轴承寿命。







轴承瓦块刮研不合要求

处理方法:重新修理轴承瓦块或更换。

轴承间隙过小

处理方法:重新调整轴承间隙或刮研;

润滑油量不足,油质不良

处理方法:增加油量或更换润滑油;




分子泵在运转过程中,出现频率从正常下降至一定频率后又恢复到正常,之后又下降至一定频率,再恢复到正常,反反复复,更换电源后现象仍如此,请问该现象如何解释?

  原因:负载太大,系统真空度不够

  解决方法:检查系统

分子泵轴承为什么会烧毁

  原因:①缺乏定期维护②冷却不良导致过热③没有及时换油④抽除的气体中含有大量粉尘

  解决方法:①及时维护②检查冷却系③及时换油④隔离粉尘








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