公司产品包括石英掩膜版,苏打掩膜版,以及菲林版。苏州制版根据客户的构想、草图,定制版图,苏州制版提供高质量掩膜版以及后期的代加工服务!
标定板图纸内容如下:
1. 需要附上材料
2. 精度
3. 外形尺寸公差,厚度
4. 制作效果图纸:正负板之分等。(如果考虑价格因素,需要强调多少倍率下面允许看到瑕疵)
5. 需要
制版厂家
公司产品包括石英掩膜版,苏打掩膜版,以及菲林版。苏州制版根据客户的构想、草图,定制版图,苏州制版提供高质量掩膜版以及后期的代加工服务!
标定板图纸内容如下:
1. 需要附上材料
2. 精度
3. 外形尺寸公差,厚度
4. 制作效果图纸:正负板之分等。(如果考虑价格因素,需要强调多少倍率下面允许看到瑕疵)
5. 需要提供详细的CAD图纸(图纸
i好不要画比例图纸)。以上为制作标定板完整信息
什么是光刻掩模板
在薄膜、塑料或玻璃基体材料上制作各种功能图形并,以便用于光致抗蚀剂涂层选择性曝光的一种结构,称为光刻掩模版。
半导体集成电路制作过程通常需要经过多次光刻工艺,在半导体晶体表面的介质层上开凿各种掺杂窗口、电极接触孔或在导电层上刻蚀金属互连图形。光刻工艺需要一整套(几块多至十几块)相互间能套准的、具有特定几何图形的光复印掩蔽模版。
使用铬刻蚀液进行湿法刻蚀,将暴露出的铬层刻蚀掉形成透光区域,而受光刻胶保护的铬层不会被刻蚀,形成不透光区域。这样便在掩膜版上形成透光率不同的平面图形结构。
在有必要的情况下,使用湿法或干法方式去除掩膜版上的光刻胶层,并对掩膜版进行清洗。
石英掩膜版
使用石英玻璃为基板材料,光学透过率高,热膨胀率低,相比苏打玻璃更为平整和,使用寿命长,主要用于掩膜版
苏达掩膜版
使用苏打玻璃作为基板材料,光学透过率较高,热膨胀率相对高于石英玻璃,平整度和性相对弱于石英玻璃,主要用于中低精度掩膜版
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