随着微机电技术的发展，如今的电容式加速度传感器都普遍采用的MEMS技术制造。下图显示了一种MEMS变电容式加速度传感器的结构，它的整个敏感元件由粘在一起的三个单晶硅片构成。其中上、下硅片构成两个固定电极，中间的硅片通过化学刻蚀形成由柔性薄膜支撑的具有刚性中心质量块的形状，薄膜的厚度取决于该加速度传感器的量程。磁致伸缩位移传感器是根据磁致伸缩原理制造的、长行程位置测量的位移
静力水准仪
随着微机电技术的发展，如今的电容式加速度传感器都普遍采用的MEMS技术制造。下图显示了一种MEMS变电容式加速度传感器的结构，它的整个敏感元件由粘在一起的三个单晶硅片构成。其中上、下硅片构成两个固定电极，中间的硅片通过化学刻蚀形成由柔性薄膜支撑的具有刚性中心质量块的形状，薄膜的厚度取决于该加速度传感器的量程。磁致伸缩位移传感器是根据磁致伸缩原理制造的、长行程位置测量的位移传感器。另外，在薄膜上还有刻蚀出的小孔，当薄膜随质量块运动时，空气流经小孔从而产生所需的阻尼力。由于采用MEMS技术得到了这种一体化的结构，它的可靠性是相当高的。
位移传感器
它是以相对的输出电压来呈现出所测量位置的实际上的位置。对这个装置的工作有下面几点要求：
1、如果电子尺已经使用很长时间了，而且密封已经老化，同时夹杂着很多杂质，而且水混合物和油会严重影响电刷的接触电阻的，这样会使显示的数字不停地跳动。这个时候可以说直线位移传感器的电子尺已经损坏了，需要更换。
2、若电源的容量很小，就会出现很多情况的，所以，供电电源需要有充分的容量。那么，容量不足，就会造成如下的情况：熔胶的运动会使合模电子尺的显示变换，有波动，或者合模的运动会使射胶电子尺的显示波动，造成测量结果误差很大。如果电磁阀的驱动电源于直线位移传感器供电电源同时在一起的时候，更容易出现以上的情况，情况严重时用万用表的电压档甚至可以测量到电压的有关波动。那么，容量不足，就会造成如下的情况：熔胶的运动会使合模电子尺的显示变换，有波动，或者合模的运动会使射胶电子尺的显示波动，造成测量结果误差很大。如果情况不是因为高频干扰、静电干扰或者是中性不够好的造成的，那么就有可能是电源的功率太小造成的。
3、调频干扰和静电干扰都有可能让直线位移传感器的电子尺的显示数字跳动的。
涡流或电容位移传感器
涡流传感器是非接触式设备，可测量位置和/或导电组件位置的变化。该传感器在磁场下工作。该传感器具有一个探针，该探针在探针的产生交流电。交流电会在我们正在监视的组件中产生小的电流，称为涡流。由于采用MEMS技术得到了这种一体化的结构，它的可靠性是相当高的。传感器监视这两个磁场的相互作用。随着现场互动的变化传感器将产生与两个场相互作用的变化成比例的电压。
使用涡流传感器时对于正常操作，组件的直径至少应大于传感器直径的三倍；否则，将需要校准。
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