单向流洁净室：单向流洁净室气流的特征是流线平行，以单一方向流动，并且在断截面上风速一致，有垂直单向洁净室，准垂直单向流，水平单向流洁净室等。净室：在房间的侧上角送风，采用扇形过滤器，也可以用普通过滤器配扇形送风口，在另一侧的下部设回风口，房间的高长比一般在0.5~1之间为宜。这种洁净室也可以达到5级（100级）洁净度。洁净室的流型基本上是上述三种类型，但是实际应用时可演变出很多形式。洁净室可以是单
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单向流洁净室：单向流洁净室气流的特征是流线平行，以单一方向流动，并且在断截面上风速一致，有垂直单向洁净室，准垂直单向流，水平单向流洁净室等。净室：在房间的侧上角送风，采用扇形过滤器，也可以用普通过滤器配扇形送风口，在另一侧的下部设回风口，房间的高长比一般在0.5~1之间为宜。这种洁净室也可以达到5级（100级）洁净度。洁净室的流型基本上是上述三种类型，但是实际应用时可演变出很多形式。洁净室可以是单向流和非单向流组合在一起的混合流型，以在局部区域（单向流部分）实现高i级别的洁净室。例如，在洁净室中设水平单向流的“隧道”（一侧敞开），洁净室的其余部分是涡流的单向流流型，从而实现“隧道”部分达到5级以上洁净度，工作台就设在“隧道内”。
（1） 洁净环境是为生产工艺服务的，洁净室设计必须满足生产工艺的环境要求，这是理所当然的。因此，在洁净室设计时生产工艺对环境参数的要求应该实事求是，其面积、层高，温度、湿度，洁净度等应该该高则高，该低则低，并非越高越好。在不影响生产工艺正常运行的前提下尽可能地降低参数要求，控制净化面积，缩小高净化级别洁净区的范围，严格控制100级和更高i级别单向流洁净区的面积。
光学微电子行业净化工程设计方案分析之无尘车间的特点A、无尘车间
洁净度:LCD制屏的简略流程为：清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷层散布隔垫物→组合→划线和切割→LC注入→贴偏振片→制屏终检。
在本设计里是指末端工艺的一些无尘车间，其净化洁净度一般为千级或万级或十万级。背光屏类无尘车间主要是这类产品的冲压车间、组装等无尘车间，其洁净度一般为万级或十万级。B、室内空气参数要求 ：(1)温湿度要求：温度一般为24+2℃，相对湿度为55+5%。(2)新风量大。由于这类车间内，人员比较多，可以根据以下数值应取下列的i大值：非单向流洁净室总送风量的10-30%;补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量;保证室内每人每小时的新鲜 空气量≥40m3/h。(3)送风量大。为了满足洁净室内的洁净度及热湿平衡，需要较大的送风量，就300平方米的车间，吊顶高度为2.5米的，如果是万级，送风量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送风量(换气次数，是≥25次/h);如果是十万级，送风量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送风量(换气次数，是≥15次/h)。
无尘车间运行常见故障处理方法一、无尘车间电机电流偏小
1.电机皮带断裂或皮带松，需换皮带或张紧皮带
2.过滤器损坏有漏洞，需换过滤器
二、无尘车间电机电流偏大
1.皮带紧或过滤器堵塞，需松开皮带或更换过滤器
2.电机或风机轴承故障，需检修轴承
三、无尘车间送风口送风量偏小
过滤器堵塞，需换过滤器
1.冷水流量不足，需增大冷水流量
2.没有冷水，增大新风量(春秋季节)
3.采用蒸汽加热，需减小或关闭蒸汽阀门
四、无尘车间室内温度低
1.新风量过大，需减小新风量
2.蒸汽加热量偏小，需加大蒸汽量
五、无尘车间室内湿度高
1.加热器漏气，需维修加热器
2.表冷器冷冻水流量低，需加大冷冻水流量
3.若个别房间湿度高，需检查该房间是否有蒸汽泄漏，检查是否有产湿源，排除产湿度
4.温度低，需提高温度。
六、无尘净化车间尘埃粒子超过标准
1.密封损坏，需重新密封
2.存在漏洞，需更换
3.房间卫生差，需打扫房间及设备
七、无尘车间送风口风速低
送风口堵塞，需更换
八、无尘车间室内温度高
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