公司产品包括石英掩膜版,苏打掩膜版,以及菲林版。苏州制版根据客户的构想、草图,定制版图,苏州制版提供高质量掩膜版以及后期的代加工服务!
光刻版在使用过程中不可避免的会粘上灰尘、光刻胶等污染物,这些污染物的存在直接影响到光刻的效果。为了保证光刻版洁净,必须定期对光刻版进行清洗,而清洗的效果与清洗工艺以及各清洗工艺在设备上的合理配置有着密切的联系。
待加工的掩膜版由玻
掩膜板
公司产品包括石英掩膜版,苏打掩膜版,以及菲林版。苏州制版根据客户的构想、草图,定制版图,苏州制版提供高质量掩膜版以及后期的代加工服务!
光刻版在使用过程中不可避免的会粘上灰尘、光刻胶等污染物,这些污染物的存在直接影响到光刻的效果。为了保证光刻版洁净,必须定期对光刻版进行清洗,而清洗的效果与清洗工艺以及各清洗工艺在设备上的合理配置有着密切的联系。
待加工的掩膜版由玻璃/石英基片、铬层和光刻胶层构成。其图形结构可通过制版工艺加工获得,常用加工设备为直写式光刻设备,如激光直写光刻机、电子束光刻机等。
掩膜版应用十分广泛,在涉及光刻工艺的领域都需要使用掩膜版,如IC(Integrated Circuit,集成电路)、FPD(Flat Panel Display,平板显示器)、PCB(Printed Circuit Boards,印刷电路板)、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems,微机电系统)等。其工艺质量直接影响着器件成品率、可靠性、器件性能以及使用寿命等参数指标。
在容栅电子光学微影技术性中,光罩表层的挡光图样会与基钢板上的光阻层触碰磨擦,非常容易促使挡光图样损耗促使光罩使用期减少。另一个,当施胶光亮阻层的基钢板表层并不是十分整平时,光罩与光阻层会造成不确定性的间隙与间距,而导致光源的光学散射与绕射,从而导致曝i光的规格偏差,而且导致光阻层浅部一部分的侧面曝i光范畴扩张,因此没法制做出深奥长宽比的光阻构造。这层光阻剂在曝光(一般是紫外线)后可以被特定溶液(显影液)溶解。
光致抗蚀剂也被称为光致抗蚀剂。掩模板上的图案被转移到晶片表面顶层的光致抗蚀剂上,并且在后续工艺中保护下面的材料(蚀刻或离子注入)。光致抗蚀剂由光敏树脂、光引发剂、添加剂、溶剂等组成。其中,光敏树脂是光刻胶的关键成分。
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