广州捷恩机电科技有限公司:销售德国BUSCH(普旭、博世)、德国LEYBOLD(莱宝)、德国RIETSCHLE(里其乐、伟力)、德国BECKER(贝克)、英国(爱德华) 。日本ULVAC爱发科。进口真空泵以及真空泵配件、原装进口真空泵油。并提供的维修、保养、检测、技术参数、调试、安装及真空系统上门维修等高质量的服务。真空泵过滤器销售服务热线
真空泵过滤器销售
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1)泵总体结构型式
真空泵的泵体的布置结构决定了泵的总体结构。
立式结构的进、排气口水平设置,装配和连接管路都比较方便。但泵的较高,在高速运转时稳定性差,故这种型式多用于小泵。
卧式泵的进气口在上,排气口在下。有时为了真空系统管道安装连接方便,可将排气口从水平方向接出,即进、排气方向是相互垂直的。此时,排气口可以从左或右两个方向开口,除接排气管道一端外,另一端堵死或接旁通阀。这种泵结构低,高速运转时稳定性好。一般大、中型泵多采用此种结构。
泵的两个转子轴与水平面垂直安装。这种结构装配间隙容易控制,转子装配方便,泵占地面积小。但泵较高且齿轮拆装不便,润滑机构也相对复杂。
分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸气被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,以满足不同场合的需要。
国外干泵市场的不断增长,其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本,半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵,欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵,大大提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求,国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从10Pa~10-2Pa,抽速从20m3/h~500m3/h。
真空泵是十分重要的机械设备,广泛地用于生产之中,同样它的种类很多,那么对于不同种类的真空泵工作原理有多少了解呢?下面小编整理了几种类型的真空泵,针对真空泵的特点、工作原理及适应范围做下介绍。
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螺旋泵
螺杆泵特点:螺杆泵除了具有容积泵的共同特点外,还因其轴向流动连续均匀、脉动小、内部速度低以及允许有较多的空气和其他气体混入等优点,使它可以在不允许有液体发生搅动和旋转的许多场合得到应用。
适用范围:广泛用于石油、化工、化纤、电力、海上平台工程、造船、精密机床、食品等工业部门。
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泵的基本参数
泵主要性能的基本参数有以下几个:
1、流量Q
流量是泵在单位时间内输送出去的液体量(体积或质量)。
体积流量用Q表示,单位是:m3/s,m3/h,l/s等。
质量流量用Qm表示,单位是:t/h,kg/s等。
质量流量和体积流量的关系为:
Qm=ρQ
式中ρ——液体的密度(kg/m3,t/m3),常温清水ρ=1000kg/m3。
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