高温束源炉技术特征
以下内容由沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您提供，希望对同行业的朋友有所帮助。
高温束源炉，包括机架，其特征在于，包括底座和垂直设置在所述底座上的立杆，本体包括坩埚、加热丝、冷却波纹管和电极组件，底座的上方设置有保护罩，保护罩内设置有所述坩埚和所述加热丝，坩埚上设置有所述加热丝，坩埚的外侧设置有屏蔽层，底座上设置有所述冷却波纹管和所述电极组件，冷却
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高温束源炉技术特征
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高温束源炉，包括机架，其特征在于，包括底座和垂直设置在所述底座上的立杆，本体包括坩埚、加热丝、冷却波纹管和电极组件，底座的上方设置有保护罩，保护罩内设置有所述坩埚和所述加热丝，坩埚上设置有所述加热丝，坩埚的外侧设置有屏蔽层，底座上设置有所述冷却波纹管和所述电极组件，冷却波纹管通过连接管路与所述束源炉本体连通，电极组件通过连接引线与所述束源炉本体连接。想要了解更多沈阳鹏程真空技术有限责任公司的相关信息，欢迎拨打图片上的热线电话。
高温束源炉介绍
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束源炉是一种蒸发镀膜装置是在高真空条件下，通过加热材料的方法，使坩埚中被蒸发物在衬底上沉积各种化合物、混合物单层或多层膜，可用于镀半导体、金属膜，氧化物、纳米级单层及多层功能膜的连续沉积。
加热，温度测量控制重复性好，并且可以准确调节。钽灯丝的优化设计确保了加热稳定性，即使在极限温度下也可以具有很长的使用寿命。
加热样品台的设计原理
设计原理为：将样品槽设置在中空腔中，中空腔中通入热空气对样品槽进行加热，从而对样品进行传热加热，而随着热空气装置不断向中空腔中通入空气，中空腔中的压力会增大，从而通过泄压口向气管排气，排出的气体会通过气管到达多孔头，从而对样品容器通入热空气，一方面热空气对样品容器中的样品进行加热，另一方面还能起到空气搅拌的作用。标准灯丝，热唇灯丝，冷唇灯丝和双灯丝加热器可以根据蒸发材料的不同要求制作。
热空气装置包括空压机、加热箱和管道，空压机通过所述管道与所述加热箱连通，加热箱通过管道与所述中空腔连通，空压机产生的空气通过管道进入到加热箱中进行加热，并经管道通入到中空腔中。
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靶材的类别有哪些？
溅射靶材的种类较多,即使相同材质的溅射靶材也有不同的规格。按照不同的分类方法,能够将溅射靶材分为不同的类别,主要分类情况如下:
按形状分类:长靶、方靶、圆靶按化学成份分类:金属靶材(纯金属铝、钛、铜、钽等)、合金靶材(镍铬合金、镍钴合金等)、陶瓷化合物靶材(氧化物、硅化物、碳化物、硫化物等)
按应用领域分类:半导体芯片靶材、平面显示器靶材、太阳能电池靶材、信息存储靶材、I具改性靶材、电子器件靶材、其他靶材。
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