金刚石线切割设备
金刚石线切割设备成为研究和发展的主流趋势,本文介绍国外硅片切割设备研究的新进展以及国内发展状况,并介绍笔者参与研制的金刚石环形线锯机的功能、特点和设计心得体会及金刚石单线和环线切割机应用前景展望。
目前,硬脆性材料,如单晶硅、多晶硅、宝石、玻璃、陶瓷等,具有优良、稳定的物理和化学性能(如损性、抗腐蚀性、电绝缘性等),在电子、光学及其它领域得到广泛应用,特别是单晶硅、多
硅棒截断设备价格
金刚石线切割设备
金刚石线切割设备成为研究和发展的主流趋势,本文介绍国外硅片切割设备研究的新进展以及国内发展状况,并介绍笔者参与研制的金刚石环形线锯机的功能、特点和设计心得体会及金刚石单线和环线切割机应用前景展望。
目前,硬脆性材料,如单晶硅、多晶硅、宝石、玻璃、陶瓷等,具有优良、稳定的物理和化学性能(如损性、抗腐蚀性、电绝缘性等),在电子、光学及其它领域得到广泛应用,特别是单晶硅、多晶硅、陶瓷材料被广泛用于太阳能光伏产业、半导体、真空电镀等高精端产业中。金刚石线切割设备成为研究和发展的主流趋势,本文介绍国外硅片切割设备研究的新进展以及国内发展状况,并介绍笔者参与研制的金刚石环形线锯机的功能、特点和设计心得体会及金刚石单线和环线切割机应用前景展望。伴随半导体、光伏材料技术的发展,需求量不断增加,切割加工量大幅增长,由于硬脆材料硬度高、脆性大,因此加工难度较大。
线切割设备
切割液
金刚线切割设备使用的切割液主要作用是冷却,所以主要采取冷却水或油基冷却。油基冷却主要是乙二醇做切割液,原理上乙二醇基的切割方法也有助于硅料的回收,但是需要相对复杂的化学方法处理,提高了回收成本。使用水做切割液可以混合部分粘合剂,减轻清洗工序工作强度;另一个作用是切损硅料容易回收。油基冷却主要是乙二醇做切割液,原理上乙二醇基的切割方法也有助于硅料的回收,但是需要相对复杂的化学方法处理,提高了回收成本。
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IC器件的基础性材料是半导体硅单晶材料,因此,对硅单晶材料的消耗量反映了一个的IC制造业的规模和工艺水平,同时各国硅材料生产及硅圆片生产水平也代表了一个IC工业的材料基础的实力。
线切割设备广泛应用于太阳能电池用单晶硅、多晶硅切割;功能陶瓷、人工晶体的切割。其加工速度快,切面质量好,被市场认可。

环形电镀金刚石线
环形电镀金刚石切割线是指将金刚石磨料电镀到环形金属基体上形成的切割线。该类切割线使用时一般缠绕到几个导轮上进行单向循环切割,切割过程中无需换向,因此切割速度高。
环形电镀金刚石切割线中的由单根钢丝焊接成环形的切割线的线径一般不大于1 mm,因此切缝较小,适合于硅晶体和蓝宝石等比较贵重的硬脆材料的切割。

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