电子气体污染控制要求日趋严格随着电子消费品的升级换代,产品制造尺寸越来越大,产品良率和缺陷控制越来越严格,整个电子工业界对电子气体气源纯度,以及杜绝输送系统二次污染的要求越来越苛刻。基本上工业界对电子气体气相不纯物以及颗粒度污染提出的技术指标,直接与分析仪器技术进步带来的较低检测极限(直接关联。如传统的激光颗粒测试仪可测到微米,而核凝结技术可达到微米。目前超大规模集成电路制造线
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气体污染控制要求日趋严格随着电子消费品的升级换代,产品制造尺寸越来越大,产品良率和缺陷控制越来越严格,整个电子工业界对电子气体气源纯度,以及杜绝输送系统二次污染的要求越来越苛刻。基本上工业界对电子气体气相不纯物以及颗粒度污染提出的技术指标,直接与分析仪器技术进步带来的较低检测极限(直接关联。如传统的激光颗粒测试仪可测到微米,而核凝结技术可达到微米。目前超大规模集成电路制造线宽已经发展到纳米,对于大宗气体的纯度都要求在级别,颗粒度控制直指分析仪器的下限。实验室超高亮度技术指标已达到以上,对于氢气和氨气的纯度控制要求也都小于氨气则釆用多级精馏生产技术指标到达的白氨的氢气需要采用的钯膜纯化器提纯至。
氮气在一般情况下很孤独,不爱管人家的闲事,但在高温下,却变得象个热情的年轻人。这一点,给炼钢厂带来了不少麻烦,炼钢的时候,钢变成了火红的钢水,在高温下,氮很易溶解在钢水里。然而,当钢锭冷却的时候,氮气就跑出来了,结果,在钢锭里形成一个个气泡。
这样蜂窝般的钢就不能制造机器了。现在炼钢工人往钢水里加进金属钛。钛能与氮化合变成渣,氮化钛浮在钢水上面。氮化物很多都是非常坚硬的,象氮与硅的化合物非常坚硬,可以用来切削金属。
目前工业制
氦气的方法一般有分馏法、吸附法、扩散法、铀矿石法等等。
1.分馏法:利用每种气体的沸点和凝点不同,通过反复蒸馏就可以剔除杂质获取粗氦混合气。
2.吸附法:使用不同的固定吸附剂,利用不同组分的气体吸附能力不同的原理将氦气分离出来。
3.铀矿石法:将含有氦气的铀矿石通过焙烧分离,再经过处理得到氦气,过程中会除去水分、氢气、二氧化碳等杂质。
4.空分法:利用空分原理,从氦氖混合气中提纯氦气。
5.吸收法:在一定条件下通过合适的吸收溶剂,将沸点比氦气高的然气中的其他气体吸收去除,从而获得氦气。
6.扩散法:氦气的高导热性大家都知道,利用极细的石英玻璃管扩散提取氦气也具有可行性。
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