PVD真空镀膜过程非常复杂，由于镀膜原理的不同分为很多种类，仅仅因为都需要高真空度而拥有统一名称。所以对于不同原理的PVD真空镀膜，影响均匀性的因素也不尽相同。并且均匀性这个概念本身也会随着镀膜尺度和薄膜成分而有着不同的意义。
薄膜均匀性的概念：
1.厚度上的均匀性，也可以理解为粗糙度，在光学薄膜的尺度上看(也就是1/10波长作为单位，约为100A)，真空镀膜的均匀
派瑞林镀膜工艺
PVD真空镀膜过程非常复杂，由于镀膜原理的不同分为很多种类，仅仅因为都需要高真空度而拥有统一名称。所以对于不同原理的PVD真空镀膜，影响均匀性的因素也不尽相同。并且均匀性这个概念本身也会随着镀膜尺度和薄膜成分而有着不同的意义。
薄膜均匀性的概念：
1.厚度上的均匀性，也可以理解为粗糙度，在光学薄膜的尺度上看(也就是1/10波长作为单位，约为100A)，真空镀膜的均匀性已经相当好，可以轻松将粗糙度控制在可见光波长的1/10范围内，也就是说对于薄膜的光学特性来说，真空镀膜没有任何障碍。减反射镀膜:镀膜技术是公司的核心技术,即将开始减反射镀膜的布局。
物质以分子的形式紧密结合在一起，当水遇到这样的涂层，就会凝结成水珠滚落，可以实现很出色的防水防潮效果。而且，这样的纳米膜还可以涂覆在内部电子元件表面，这样即使有水进到内部也不会造成损坏。
纳米涂层在显微镜上观察有多个纳米颗粒组成，相临的纳米颗粒之间形成极细小的气孔，气孔远小于水分子，表面气孔产生气垫效应，从而托住水分子，达到斥水斥油污的目的，同时由于颗粒之间的不平整，导致水滴在膜层表面的接触角变大，使水滴轻易的滑落
微电子集成电路Parylene的真空气相沉积工艺不仅和微电子集成电路制作工艺相似，而且所制备的Parylene涂层介电常数也低，还能用微电子加工工艺进行刻蚀制图，进行再金属化，因此Parylene不仅可用作防护材料，而且也能作为结构层中的介电材料和掩膜材料使用，经Parylene涂敷过的集成电路芯片，其25um细直径连接线，连接强度可提高5-10倍。真空电镀可达200℃左右，这对使用在高温的部件就可以进行电镀处理了。
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