如何正确的维护真空泵
电化学清洗：将待清洗的金属零件放在某种溶液中，并将零件接在电源的正极或负极，另外再用某一材料制作成的极板接电源的另一极，调节电源电压，获得一定电流密度，达到去油和去除金属表面氧化层的目的。
酸、碱浸蚀处理：去油后进行浸蚀处理，目的是去除金属表面的氧化物，经过热处理的零件，油污已不存在，可直接进行浸蚀处理，以去除退火后的氧化层。浸蚀处
水环式真空泵
如何正确的维护真空泵
电化学清洗：将待清洗的金属零件放在某种溶液中，并将零件接在电源的正极或负极，另外再用某一材料制作成的极板接电源的另一极，调节电源电压，获得一定电流密度，达到去油和去除金属表面氧化层的目的。
酸、碱浸蚀处理：去油后进行浸蚀处理，目的是去除金属表面的氧化物，经过热处理的零件，油污已不存在，可直接进行浸蚀处理，以去除退火后的氧化层。浸蚀处理一般在酸性溶液中进行，大多数金属的氧化物以及金属本身都能与适当浓度的酸溶液起化学反应，氧化物与酸反应生成盐和水，金属与酸作用生成盐和氢气，氢气的一部分被金属表面吸附后，会使某些金属变脆，为了避免金属变脆和过度腐蚀，可在浸蚀液中加入缓蚀剂，并适当控制浸蚀溶液的的浓度及温度。真空泵启动后及时启动轴流风机运行，真空泵停运后30min停运轴流风机，以使主电机得到充分冷却。
超声波清洗：超声波清洗的原理是利用它所造成介质的“空隙现象”，即超声波的振动引起清洗介质疏密变化而达到清洗目的。振动使介质时而稀疏，时而闭合，稀疏时形成瞬时的空隙；因此，它适用于前级泵，也为配套的精密仪器及实验室使用的扩散泵。闭合时产生瞬时冲击力可达到几个大气压，这个强大的冲击能破坏物体表面的油膜，使之和污染物一起脱离物体表面被冲落到溶液中。
直连式真空泵操作须知：
1.查看油位，以停泵时注油至油标中心为宜。过低对排气阀不能起油封作用，影响真空泵度。过高会使泵油随着排气口向外喷溅，运转时油位有所升高，属正常现象，油应以规定牌号的清洁真空泵油，油宜经过滤，以免杂物进入，堵塞油孔。
2.检查泵的极限真空压力,我们所标的极限真空压力是根限分压力,应以压缩式真空计为准(所规定)。其他真空计都是测量气体与蒸气分压的总和，故比只能作为参考。
3.该真空泵是用单相电源，接通电源，泵即可工作，但不宜长时间的大排气。排气完了要给泵内放入气，使泵内各部位保持平衡。
真空泵操作须知，需要注意哪些问题呢？
1.极限真空不高及其消除 （1） 油位太低，有较大排气声，可加入清洁的真空泵油。（2） 泵油为可凝性蒸汽所污染，可开气镇净化或更换新油。（3） 泵口外接管道、容器、测试仪表管道、接头等漏气。大漏时，有大排气声，排气口有气排出，应找出漏气部位，进行消除。（4） 进气咀或气镇阀橡胶密封图装配不当，损坏或老化，应调整或更换。（5） 进油咀油孔堵塞，可拔出进油咀，疏通油孔。（6） 真空系统严重污染，包括容器、管道等，应予清洗。（7） 旋片弹簧折断，应予调换。因此使用真空泵时必须注意下列几点：在蒸馏系统和真空泵之间，必须装有吸收装置。（8） 旋片、泵身或盖磨损，间隙过大，应进行检查，修整或调换。（9） 泵温过高，应改善通风和冷却。如所抽气体温度太高，应予先冷却后再进入泵内。
2.喷油 （1） 油位过高，可入出多余油量。（2） 减雾器中有泵油或杂物，应清除。
3.漏油 放油螺塞，油箱垫片损坏或装配不当，螺钉拧紧；油标未拧紧，有机玻璃过热变形；泵身部件与支座的连接挚垫片未垫好；油封装配不当或磨损；应予调整或更换。
4.噪声 （1） 旋片弹簧折断，可调换弹簧。（2） 有毛刺、脏物或变形，运转发生障碍，应检查修磨清洗。（3） 轴承磨损，零件磨损。应修整或更换。（4） 电机出毛病，应进行检查。
5.返油 (1) 止回阀未关好，停泵后，油位很快下降，可再开再停，观察变化或拆开检查。(2) 两泵盖内油封装配不当或磨损，可进行调换。(3) 泵盖或泵身平面不平整，可进行修整。(4) 排气阀片损坏，应进行调换。
真空泵的范围要求及工作压强
真空泵在进行使用的过程中，其工作强度应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
正确的选择其真空泵的工作点，每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。通过对真空泵市场的分析我们可以看出，各类真空泵的市场及应用领域都在不断变化和发展。
真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。厂家在进行产品售后服务承诺时，只能高于，而不能。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空;有的真空泵出口压强大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
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