特种气体系统：
主管路系统的设计
对于低蒸汽压气体（WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等），需要考虑钢瓶加热，气体面板加热，管道伴热等。为了精1确控制流量，在气源端一般会考虑配置的压力变送器、电子秤、温控器等。其间真空喷吹法选用喷枪的方式向被检产品外外表喷吹氦气，能够完成漏孔的准确定位。在机台用气点也都配置了质量流量计，压力调节阀。对于剧1毒、高反应性和自
特种气体生产厂家
特种气体系统：
主管路系统的设计
对于低蒸汽压气体（WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等），需要考虑钢瓶加热，气体面板加热，管道伴热等。为了精1确控制流量，在气源端一般会考虑配置的压力变送器、电子秤、温控器等。其间真空喷吹法选用喷枪的方式向被检产品外外表喷吹氦气，能够完成漏孔的准确定位。在机台用气点也都配置了质量流量计，压力调节阀。对于剧1毒、高反应性和自燃气体，应使用双套管输送。同时管道的设计要采用零死区设计，即整个管道系统从气柜到VMB、从VMB到用气点，要点对点，中间不允许有在气体置换时有残留空气的死角。因此，整个管路系统中由VMB完成气体的分配，中间没有三通。后管道还要有良好的接地。
特种气体管道的施工
施工管理和现场施工的几个注意点
项目管理人员和施工人员都要进行施工安全和施工质量的培训,了解特种管道的施工作业要求和规范,了解特种气体的基本知识,从而加深对特种管道施工质量重要性的认识。
特气管道一般采用小管道输送，为了降低成本，管道采用直接用弯管器煨弯的方式，弯管器一般采用5-10倍的，但不小于5倍。在这里要特别提出的是对输送强腐蚀性气体的耐腐蚀性强的VM管进行对接施焊时，其充气时间必须要达到4-5分钟，而且必须不间断充气。因此对管道施工人员要进行各种角度下的弯管培训，对焊工也必须进行焊接程序的培训，熟悉各种焊接参数的调整，后管工和焊工都必须经过考试，由专门的质量管理人员确认合格后，发给作业许可证后方可施工.
特种气体:高纯氯1气
高纯氯1气应用
高纯氯1气主要用于液晶平板显示器、光纤和半导体行业，被用作蚀刻气体和脱水剂，而其中光纤行业用量较大。真空法检测灵敏度高，能够准确定位，能完成大容器或杂乱结构产品的检漏。光纤1主要参数是损耗，无论是石英光纤还是浮化玻璃光纤中的损耗，主要是由OH-阴离子、过渡金属离子和稀土金属离子引起的。因为光散射、光吸收主要是由OH-产生的，所以必须脱除光纤中的OH-离子。为了降低损耗，处需要光纤制造系统精良和所有原材料纯度高外，其关键是在制造光纤工艺中通入高纯氯1气，有效除去OH-离子。因此，高纯氯1气是生产光纤不可或缺的原材料。
特种气体的分类
近年来我国微电子、光电子等电子信息产业高速发展，促使这一块所需使用气体的飞速发展。为了降低损耗，处需要光纤制造系统精良和所有原材料纯度高外，其关键是在制造光纤工艺中通入高纯氯1气，有效除去OH-离子。由于微电子、光电子产业对气体的使用要求极高，所以我们特将这个领域所使用的特种气体叫电子特气。电子特气的使用行业主要有太阳能电池片、半导体发光二极管（LED）、液晶面板、光纤、IC、半导体分立器件、线路板等行业。主要包括：
1、硅族气体：含硅基的硅i烷类。
2、掺杂气体：含硼、磷、shen等三族及五族原子之气体。
3、蚀刻清洗气体：以含卤化物及卤碳化合物为主。
4、反应气体：以碳系及氮系氧化物为主。
5、金属气相沉积气体：含卤化金属及有机烷类金属。
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