湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
辉光离子氮化是指利用辉光放电现象使工件表面渗入氮原子的热处理方法。采用的辉光离子氮化炉,以工件为阴极,炉体为阳极,当炉内真空度抽至(1~0.1Pa)后通入氨气,使真空室内压力约为66.65~
离子氮化炉
湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
辉光离子氮化是指利用辉光放电现象使工件表面渗入氮原子的热处理方法。采用的辉光离子氮化炉,以工件为阴极,炉体为阳极,当炉内真空度抽至(1~0.1Pa)后通入氨气,使真空室内压力约为66.65~1333.2Pa。
当交流电压的频率较低(50HZ~5KHZ)时,工作气体起辉点火电压与直流放电时基本相同。当电压的频率增加到中频时,起辉点火电压比用纯直流靶电源时降低很多。双极性脉冲中频靶电源,根据有无“串联电压调整”电路有分为“工艺型”和“经济型”两种。APGD的研究也取得了一些进展,如He、Ne、Ar、Krypton惰性气体在大气压下基本实现了APGD,空气也已经实现了用眼睛看上去比较均匀的准“APGD”。
射频磁控溅射气体放电时,由于射频靶电源输出交变高频正弦电压波形,致使电子碰撞工作气体的几率大为增多,工作气体离化率高,等离子阻抗低,射频磁控溅射膜层沉积速率为二极射频溅射的数倍。辉光放电的特征是电流强度较小(约几毫安),温度不高,故电管内有特殊的亮区和暗区,呈现瑰丽的发光现象。 。当极间电压足够大时,所有的带电离子都可以到达各自电极,这时电流达到某一1大值(即饱和值)。
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