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爱德华真空泵代理真空系统设计招标 惠州明胜机电

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爱德华真空泵代理









进口爱德华真空泵油过滤器A22304032

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爱德华过滤器主要作用:真空泵油过滤器是很多进口真空泵配置的一种油过滤装置,主要过滤颗

粒杂质粉尘,保持真空泵油质量,提高真空泵使用寿命。

Edward爱德华半导体、平板显示器、LED 和太阳能电池制造集成解决方案提供商,是工业、制

药、化工、科研、加工、玻璃镀膜、食品包装行业以及广泛的研发应用的真空技术。 这些泵结

构紧凑,使用时非常安静,具备的润滑回路,可靠性高,配有各种附件,可以满足特定的应用需

求。


主要从事真空行业,销售真空泵过滤器,真空泵叶片/滑片/石墨碳片,维修包/密封套

件,真空泵维修耗材。选择比其尔的优势;拥有10年以上各类进口真空泵技术,真空泵系统订

制,真空泵维修/保养;如德国BUSCH普旭、德国Becker贝克、德国Rietschle伟力/里其乐、德国天

津Leybold莱宝、法国ALCATEL阿尔卡特、英国Edward爱德华、日本ULVAC爱发科,日本Orion好

利旺等;





半导体加工我们继续革新技术解决方案,这些解决方案将会提升制程正常运转时间、产量、吞吐量与安全认证水平,同时通过减轻不利于环境的排放、延长产品使用寿命并降低持续服务成本,努力协调平衡往往相互冲突的更低拥有成本要求。

所有居于地位的制程工具 OEM,以及每一家主要半导体工厂都采用了我们的系统,因为它们能够满足成熟制程与发展中制程的具体要求。提供干式真空泵、涡轮分子泵与使用点减排系统等各种系统,用来优化从轻负荷制程到超重负荷制程的各项应用的性能表现。 平版印刷平版印刷(即晶圆的图案形成)是半导体 制程中的一个关键步骤。虽然传统甚至浸润式平版印刷 一般不需要真空环境,但远紫外 (EUV) 平版印刷和电子束平版印刷却需要真空 泵。Edward可以让您有效应对这两种应用。经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子,并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门,因此可将维护要求降到低。

EUV 平版印刷泵送解决方案

多重图案形成技术有其存在的价值, 但以后可能需要使用 EUV 平版印刷,因为轻型 EUV 系统 提供极短的波长。要让您的系统具有 性能,真空环境是关键。真空系统的 清洁性尤其重要,它有助于延长维修间隔。我们 与 EUV 平版印刷 OEM 和光源 OEM 合作开发了 精密真空系统,可为您进行的大型投资提供 可靠性。这些直联式旋片泵设计紧凑且无振动,配备防伤手风扇和联轴器壳体,可为操作人员提供保护。

电子束平版印刷解决方案

电子束平版印刷在硅晶片的图案形成中 具有重要作用。低振动的清洁真空对于确保系统的精密性 和长正常运行时间至关重要。

我们的产品解决方案

您可能需要使用涡轮分子泵 (TMP) 以便 在您的制程工具上实现超高真空。我们的 STP 系列 TMP 采用 完全磁悬浮转子以降低舱室污染风险并延长 维修间隔。目前开发的产品通过将控制器集成到 泵本身中来降低总成本和占地面积,不再需要 外部控制器和控制器与泵之间的沉重控制 电缆。低振动的清洁真空对于确保系统的精密性和长正常运行时间至关重要。




使用真空泵机组时需要注意什么

1、在蒸馏系统和真空泵机组之间,必须装有吸收装置。

2、蒸馏前必须用水泵抽去系统中溶剂的蒸气。

3、如能用水泵抽气的,则尽量用水泵,如蒸馏物质中含有挥发性物质,可先用水泵减压抽降,然后改用油泵。

4、真空泵机组腔内容积不断变化而形成排气作用,要求润滑油应具有合适的粘度和粘温特性。

5、减压系统必须保持密不漏气,所有的橡皮塞的大小和孔道要合适,橡皮管要用真空用的橡皮管。磨口玻璃涂上真空油脂。









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