洁净室的冷热源机组:a.电驱动的压缩式制冷机电驱动的压缩式制冷机主要以氟里昂、氨为制冷剂,民用制冷机大部分采用氟里昂作为制冷剂。按冷却介质的种类可分为空气冷却和水冷却两种形式,按压缩机种类可分为活塞式、螺杆式、离心式三种形式,按提供的冷源或热源情况可分为冷水机组和热泵机组两种形式。回风管及回风口处理:图纸设计为侧墙面回风,为了保证墙面平整,不增加凹凸面,将回风立管移至手术室的两斜对角处。常用的
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洁净室的冷热源机组:a.电驱动的压缩式制冷机电驱动的压缩式制冷机主要以氟里昂、氨为制冷剂,民用制冷机大部分采用氟里昂作为制冷剂。按冷却介质的种类可分为空气冷却和水冷却两种形式,按压缩机种类可分为活塞式、螺杆式、离心式三种形式,按提供的冷源或热源情况可分为冷水机组和热泵机组两种形式。回风管及回风口处理:图纸设计为侧墙面回风,为了保证墙面平整,不增加凹凸面,将回风立管移至手术室的两斜对角处。常用的水冷式螺杆式冷水机组冷凝器进出水温分别设置为32℃、37℃,蒸发器出口冷冻水温度设置为7度,冷量范围为580~1163kW。
洁净手术室和洁净辅助用房内必须设置的插座、开关、器械柜等均嵌入墙内,与墙面平齐。 手术室和辅助用房内不得有明露管线。管线隐蔽工程在管线施工完成并进行试压验收后进行。管线穿墙、穿吊顶处的洞口周围用密封材料嵌缝修补平齐、密并清洁。只是对于空气分子污染,需要控制的除了芯片线宽外,还有工艺、设备、材料与传送系统等,所以这类污染的控制一直就是业界的难题。隐蔽工程的检修口周边应粘贴气密性密封垫。回风管及回风口处理:图纸设计为侧墙面回风,为了保证墙面平整,不增加凹凸面,将回风立管移至手术室的两斜对角处。
洁净实验室设计要求在可能的情况下更换绝缘材料并在必要时安装电力技术。让洁净室管理人员进行静态审核以识别潜在问题以及可能导致问题的原因非常重要。 洁净实验室设计要求做好温湿度控制,因为洁净室实验需要控制温湿度以防止腐蚀、防止工作面冷凝,并减少放电。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。 洁净实验室设计要求必须安装HEPA过滤器,这对于控制污染至关重要。
如果密封带分别设置在门盒和门风扇中,则必须注意两者之间的良好连接,减少密封条在门缝中的中断间隙。
食品厂洁净室的地板和墙壁、墙壁和墙壁、墙壁和天花板应用硅胶密封。所有干净的房间窗户、干净的门和隔板间隙都需要用密封胶密封。吊顶表面平整度差小于2mm,各接缝平直度必须小于1.5mm,各接缝高度必须小于1mm,各接缝间隙不大于0.5mm,墙板垂直度误差小于1度。如果是涉及到电子方面的实验室,或者是有精密仪器的实验室,都不允许室内有静电存在。
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