曝光及显影设备还包括主体曝光机10、基板输送机构50及传送装置40。主体曝光机10用于先对基板S的主体进行曝光。传送装置40用于将来自该主体曝光机10的基板S传送至基板输送机构50,传送装置40例如为机械手臂。基板输送机构50用于将基板S输送至显影装置30，基板输送机构50例如为输送辊。由于该基板的长边边缘容易存在残留光阻，因此，本公开通过设置对应于基板的长边边缘的边缘曝光装置20，即可去除绝大部
凹凸面曝光显影厂家
曝光及显影设备还包括主体曝光机10、基板输送机构50及传送装置40。主体曝光机10用于先对基板S的主体进行曝光。传送装置40用于将来自该主体曝光机10的基板S传送至基板输送机构50,传送装置40例如为机械手臂。基板输送机构50用于将基板S输送至显影装置30，基板输送机构50例如为输送辊。由于该基板的长边边缘容易存在残留光阻，因此，本公开通过设置对应于基板的长边边缘的边缘曝光装置20，即可去除绝大部分的残留光阻。
消费进程中的控制。消费进程中的控制次要表如今对溶液的回收，而不是间接的排放。详细做法是在任务缸的左近添加一个回收缸，然后再停止水洗等后续加工。
对清洗水及废液的处置。蚀刻加工中必要的废水处置设备是必需的，不能由于本身的利益而危害环境。假如有新添加的工序，应对新增工序所用化学品发生的废液有完善的处置办法，假如现有的废水处置设备不能对其停止处置则必需要新增相应的处置设备，保证从金属蚀刻消费线所排放的废水要达标排放。
浓度的影响：精密五金蚀刻的，我们也称为电腐。其氧化还原电位越正，腐蚀速度相对越快。随着浓度的增加，氧化还原电位变正腐蚀速度随之增加。工业级的三氯化铁因其纯度不高，氧化还原电位较负，只有浓度达到42以上时，氧化还原电位才能达到精密五金蚀刻的要求。存在油污，腐蚀产物等，精密蚀刻层就不能直接与蚀刻件表面的金属结合，并牢固的附着。日后将导致蚀刻层起皮、鼓泡，蚀刻膜破损设置剥落的情况发生。
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