温湿度
洁净室的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以
无尘车间厂商
温湿度
洁净室的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别 是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。正如所说明的那样,人员和设备可产生几百万个粒子,而一般的建筑材料也容易破碎。
无尘洁净室内一定洁净度下气流速度的确定,随洁净室用途等具体情况而异,它不仅受室内发尘量及过滤器效率还受其他因素影响,就工业洁净室而言,影响洁净度及选择气流速度的因素主要是:
(1)室内污染源:建筑物组件、人员数量及操作活动、工艺设备、工艺材料及工艺加工本身等都是尘粒释放源,根据具体情况而异,变化很大;
(2)室内气流流型及分布:单向流要求均匀、平等的流线,但会受到工艺设备布置和位置变动及人员活动情况等的干扰形成局部涡流;而非单向流要求充混合,避免死角及温度分层。
首先无尘室的墙体材质要选洁净性能好,不会吸附灰尘的材质,并且节能环保,外观看上去美观,造价实惠。施工方便吊顶一般选用50mm的夹心彩钢板,特点是施工周期短,后期维护起来比较方便。洁净室一些配套设备如工作台,洗手池,鞋凳、地漏等要选择不锈钢材质的,不容易产生灰尘。地面一般选用环氧自流平,特点是,使用时间长,如果一些行业无尘室内需要防静电的,可以选用防静电地板。周护养后的筹备工作1若层流净化台检测功效跨越划定尺度,应用尘埃粒子计数器找出其高1效过滤器的泄露1点并修补,需要时,请维修工改换高1效过滤器或调风速。
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