真空磁控溅射镀膜机的电气控制系统介绍
真空磁控溅射镀膜机的电气控制系统按位置分为控制柜、变压器组和操作台三个主要部分。设备所有功能的控制元器件包括可编程PLC、变频器、调压模块等都装在控制柜里,控制柜的正面安装有电阻、电离复合真空计,安装有增压泵、扩散泵的加热电流表以及三相电源的指示灯、报警指示灯、紧急停止开关。
变压器组安
真空镀膜设备厂家
真空磁控溅射镀膜机的电气控制系统介绍
真空磁控溅射镀膜机的电气控制系统按位置分为控制柜、变压器组和操作台三个主要部分。设备所有功能的控制元器件包括可编程PLC、变频器、调压模块等都装在控制柜里,控制柜的正面安装有电阻、电离复合真空计,安装有增压泵、扩散泵的加热电流表以及三相电源的指示灯、报警指示灯、紧急停止开关。
变压器组安装在真空罐的下面,其输出端正极直接与对应的蒸发电极棒连接,输出端负极并接后再与蒸发负极连接。
操作台安放在真空罐的前方、观察窗的下方,触摸屏、各部件的操作控制按钮、旋钮或开关都设在操作台的面板上。
触摸屏位于操作面板的左上部,卷绕系统参数包括收放卷的张力、卷径、机器的运行速度等的设置和数据显示、真空系统的运行指示都在触摸屏中进行。
操作面板的右上部是蒸发源加热功率调节钮和电流表,可以调节和显示每组蒸发源的功率。
操作面板的下部是功能控制按钮或开关,包括控制电源总开关、卷绕车进退、摆臂进退、弯辊正反转、送丝开关及速度快慢、盖板开关、系统运行的控制模式选择等。
在镀膜的过程中,出现异样具体该真么处理呢?
大家在镀膜的过程中,可能有时候会发现,膜层上有时会出现白点的异样发生,经过技术人员的检测和排查,大部分都是因为产品周转运输或在炉内生产时素材受到污染,产品表面有尘点、毛丝等,PVD出炉后灰尘脱落露出底材颜色。所以大家在使用真空磁控溅射镀膜机镀膜过程中缩短产品在炉外停滞时间及炉内洁净度管控,减少异物掉落在产品表面。有时膜层也会出现掉膜(点状掉膜、局部掉膜、边缘掉膜)情况,不知道大家有没有碰到过。它主要产生的原因是产品表面脏污,膜层无法在产品上沉积或结合力差,在自然或人为的因素下产品表面漏出底材,所以大家在镀膜前,一定要把产品清洗干净,避免污染产品,确保表面洁净度。还有一种经常出现的情况,就是出现彩虹纹(产品发彩,出现这种情况主要原因是彩虹纹主要体现在颜色较深的产品上,因生产过程中形成一定角度遮挡,膜层无法均匀、有效的覆盖在产品表面。因此镀膜的时候,要更改更改装夹方式,或者提高成膜能量。有的客户会发现,产品镀膜出来后会出现脏污情况,导致出现这个主要原因是产品出炉后周转过程中因人为因素造成的表面污染,解决流程是产品PVD下挂、检查、打包作业人员手套、指套洁净度及环境管控。
真空镀膜设备需要的环境要求
真空镀膜设备需要的环境要求
真空镀膜设备要在真空条件下工作,因此该设备要满足真空对环境的要求。真空对环境的要求,一般包括真空设备对所处实验室(或车间)的温度、空气中的微粒等周围环境的要求,和对处于真空状态或真空中的零件或表面要求两个方面。
这两个方面是有密切联系的。周围环境的好坏直接影响真空设备的正常使用;而真空设备的真空室或装入里面的零件是否清洗,又直接影响设备的性能。如果空气中含有大量的水蒸气和灰尘,在真空室没有经过清洗的情况下用油封机械泵去抽气,要达到预期的真空度很难的。众所周,油封式机械泵不宜抽除对金属有腐蚀性、对真空油其反应的以含有颗粒尘埃的气体。水蒸气为可凝性气体,当大量抽除可凝性气体时,对泵油的污染会更加严重,结果使泵的极限真空下降,破坏了泵的抽气性能。

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