种形式在小规模低等级要求的洁净室车间设计中被广泛应用，对于高等级的洁净车间则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。
第二种形式的设计可以满足集成电路制造无尘车间高等级的要求，但运行成本较高，并且洁净室风速、风量调节困难，系统升级改造困难，因此操作灵活性很低。
第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低，而且操作灵活性很高，可以在不
厂房净化价格
种形式在小规模低等级要求的洁净室车间设计中被广泛应用，对于高等级的洁净车间则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。
第二种形式的设计可以满足集成电路制造无尘车间高等级的要求，但运行成本较高，并且洁净室风速、风量调节困难，系统升级改造困难，因此操作灵活性很低。
第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低，而且操作灵活性很高，可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整，这些都能很好地满足半导体制造的需求，因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为很主要的净化设计方案。
卫生管理系统
1、为了防止交叉污染，清扫净化车间设施的工具均应按产品特点、工艺要求、空气洁净度级别的不同分别，垃圾装入防尘袋中拿出。
2、GMP车间的清扫必须在上下班前、生产工艺操作结束后进行，并且要在净化车间空调系统运行中进行，此外，清扫工作结束后，净化空调系统要继续运行，直到恢复规定的洁净级别为止，开机运行时间一般不短于该GMP车间的自净时间。
电磁辐射法基于破坏细菌以及被吸收户的热效应等原理，紫外线灭菌就属于该方法，常用的有紫外线杀菌灯等，利用紫外线灯直接布在洁净室内，利用上班前后、午间休息、交接班等空档时间开灯照射杀菌，时间控制在0.5-1H左右，灭菌效果良好而实用。中净环球净化可提供洁净室、无尘室的咨询、规划、设计、施工、安装、改造等配套服务。由于静压差的降低，即可降低净化空调系统中新风的处理量，此时不仅可以减少处理为保证静压而需要的新风量所消耗的冷、热量，还可减少风机的电耗，采用变风量运行方式是较为理想的节能方式。
10万级无尘车间的洁净标准1、尘粒很大允许数(每立方米)。
2、大或等于0.5微米的粒子数不得超过3500000个，大或等于5微米的粒子数不得超过20000个。
3、微生物很大允许数。
4、浮游菌数不得超过500个每立方米。
5、沉隆菌数不得超过10个每培养皿。
6、压差：相同洁净度等级的洁净室压差保持一致，对于不同洁净等级的相邻洁净室之间压差要≥5Pa，洁净室与非洁净室之间要≥10Pa。
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