退火炉
湘潭华宇电炉制造有限公司是各类工业电炉的生产厂家,公司湘潭华宇电炉制造有限公司积数十年开发生产工业电炉成套设备的经验,拥有雄厚的技术力量及非标设备的设计、制造能力,产品用户遍布各地。近几年积累了丰富的不锈钢结构件的加工经验,具有较强的不锈钢结构件的加工能力。
退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺,其包括加热多个半导体晶片以影响其电
铜材真空退火炉制造商
退火炉
湘潭华宇电炉制造有限公司是各类工业电炉的生产厂家,公司湘潭华宇电炉制造有限公司积数十年开发生产工业电炉成套设备的经验,拥有雄厚的技术力量及非标设备的设计、制造能力,产品用户遍布各地。近几年积累了丰富的不锈钢结构件的加工经验,具有较强的不锈钢结构件的加工能力。
退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺,其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以掺杂剂,将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面,使致密沉积的薄膜,改变生长的薄膜的状态,修复注入的损伤,移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。
真空退火炉的特点
智能温度程序控制系统,采用日本富士PID智能程序控温仪表, 升温、保温程序可自行设定,可自动程序控制每区炉温工作情况;温度记录采用中长图有纸记录仪,可同步记录该炉每区炉温工作情况,该型式具有直观、方便和性;
炉底与炉顶均对应设置测温控温点,把炉膛温度均衡性控制在允许范围内,减少马弗罐加热及冷却过程中的变形量,延长马弗罐使用寿命,方便操作。
本设备自动化程度高、工作运行安全可靠、寿命长、操作维修方便;
真空退火炉主要功能
控制系统具有热处理过程的温度显示和温度曲线记录功能。六点温度记录仪可同步记录该炉温工作情况。该炉按炉膛前后共分6个控温区分布在炉膛内,合理设置测温点位置,可避免真空罐因受热不均匀而产生大幅度变形。控制系统各区均具有超温断偶声光报警、自动切断加热电源等安全自动保护功能。每台控制柜上均设有电压指示表和三相电流指示表。

真空退火炉系统配置
组合柜体 (2台) (定制)PID智能温度程序控制仪 (6只)PID智能温度程序控制仪功率智能控制器 (6只)可控硅调功模块(400A):(6套)高温热电偶(K分度芯) (6支)六点温度记录仪 (1台)温度记录仪其它仪表电器电路 : (国产名优)

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