流量器安装使用注意事项
前置直管段
1)热分布式 本类仪表对上下游配管布置不敏感,通常认为无上下游直管段长度要求。国际标草案ISO/DIS 11451认为流量测量不受旋转流和流速场剖面畸变影响。然而BS 7405却认为;①上下游直管段长度可小至2D;工业炉窑中的燃料流量计如果不可靠,造成流路堵塞,容易导致炉子熄火,酿成事故。②在进口端置一金属(或塑料)网,可有效地改
气体流量计计算
流量器安装使用注意事项
前置直管段
1)热分布式 本类仪表对上下游配管布置不敏感,通常认为无上下游直管段长度要求。国际标草案ISO/DIS 11451认为流量测量不受旋转流和流速场剖面畸变影响。然而BS 7405却认为;①上下游直管段长度可小至2D;工业炉窑中的燃料流量计如果不可靠,造成流路堵塞,容易导致炉子熄火,酿成事故。②在进口端置一金属(或塑料)网,可有效地改善流速分布畸变,得到分布均匀的气流;③要防止从小管径突然扩大进入较大口径仪表,要缓慢过渡。
2)浸入式 带测量管的浸入式流量传感器和插入式仪表需要一定长度前置直管段,ISO/DIS 14511对此未作具体规定,而按制造厂建议的值。BS 7405建议对于在管道中用插入热丝流速计时,需要(8~10)D的上游直管段和(3~5)D的下游直管段。表4列举Sierra公司对带测量管浸入式TMF所规定的上直管段长度;若在其进口端装一块或二快多孔板式流动调整器(整流器)后,则其长度可大为缩短。流量控制器内存在水汽有多糟解决方法如果ALICAT质量流量控制器内渗入水汽,情况则不至于那么糟。
流量控制器的工作压差范围是个什么概念
质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门, 阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程, 在工作的过程当中, 控制器的入口和出口之间会产生一个气压降, 即压差。MFC的工作压差范围通常为0.1~0.3MPa, 若压差值(0.1 MPa), 有可能控制达不到满量程值; 若高于值(0.3MPa), 有可能关闭时流量不能小于2%F.S。用户使用MFC时, 无论用户工作的反应室是真空还是高压, 应做到使MFC进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内, 并且要求气压要相对稳定。采用金属密封的MFC原则上可以用于任何气体,包括各种腐蚀性气体和特种气体。
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流量控制器在高压条件下如何使用
质量流量控制器的工作压差范围通常比较小, 要在高压条件下正常使用需要特别注意三点: 一, 是要选择耐压符合要求的MFC; 二, 是要挑选工作压差范围大的产品型号; 三, 要在MFC气路前面加减压阀, 稳定入口气压, 在MFC下游加背压阀, 稳定反应室和MFC出口的气压, 适当调节减压阀和背压阀, 要保证MFC的工作压差不会超过规定的范围。只要做到以上三点, MFC就能够在高压条件下稳定工作。由于和后的10%控制响应曲线变化,由此而得出的控制响应速度可能无法与实际的控制性能等同。
流量控制器的特点
地定量控制流量
质量流量控制器可以地控制气体的给定量,这对很多工艺过程的流量控制、对于不同气体的比例控制等特别有用。
适用范围宽
有很宽的工作压力范围,我们的产品可以从真空直到10MPa; 可以适用于多种气体介质(包括一些腐蚀性气体,如HCL);质量流量控制器本身除了测量部分,还带有-个电磁调节阀或者压电阀,这样质量流量控制本身构成-个闭环系统,用于控制流体的质量流量。有很宽的流量范围,我们的产品流量范围可达0~5 sccm,流量范围可达0~200 slm。流量显示的分辨率可达满量程的0.1%, 流量控制范围是满量程的2~ 量程比为-- 50:1, 因此在很多领域得到广泛应用。
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