特种气体：氦气
液氦的沸点极低（4.25K），使其成为高科技领域的宠儿：一是低温超导。液氦温度极低，可为超导磁体提供低温环境，其中应用广的为磁共振成像（MRI）。特种气体系统的设计与施工供气系统的选择常规供气系统常规供气系统主要应用于4-6英寸大规模集成电路厂，50MW以下的太阳能电池生产线，发光二极管的芯片工序线以及其它用气量中等规模的电子行业。医1院核磁共1振成像仪的
特种气体厂
特种气体：氦气
液氦的沸点极低（4.25K），使其成为高科技领域的宠儿：一是低温超导。液氦温度极低，可为超导磁体提供低温环境，其中应用广的为磁共振成像（MRI）。特种气体系统的设计与施工供气系统的选择常规供气系统常规供气系统主要应用于4-6英寸大规模集成电路厂，50MW以下的太阳能电池生产线，发光二极管的芯片工序线以及其它用气量中等规模的电子行业。医1院核磁共1振成像仪的核心大都是超导磁体，只有在液氦的低温下才能稳定运行，产生稳定的磁场，保证高分辨率成像。二是低温冷却。
液氦广泛用于原子反应堆的冷却介质和清洗剂。三是测温。由于氦气的液化温度很低，接近于绝1对零度，故其测温范围很广，多用于精密测量。
特种气体的介绍
特种气体门类繁多，通常可区分为电子气体，标准气，环保气，气，焊接气，杀菌气等，广泛用于电子，电力，石油化工，钢铁，有色金属冶炼，热力工程，生化，环境监测，医学研究及诊断，食品保鲜等领域。
常温下，干氯不腐 蚀钢｛但在水和湿气存在时，由于生成盐酸和次氯酸。所以呈强腐蚀性应保持设备中无 水，管路、阀门和容器不用时应密封或加帽，从而与大气中的湿气隔离。
电子气体是超大规模集成电路、平板显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池等电子工业生产不可或缺的原材料。在半导体的生产过程中，从芯片生长到后器件的封装，几乎每一步、每一个环节都离不开电子气体。制定完善的经验证可行的灭菌工艺方案以及环氧乙1烷存放、收发制度，专人持证上岗，严格按照操作规程运行2。电子气体成本占IC材料总成本的5%~6%。电子气体的纯度对芯片质量有很大的影响。在电子工业中用的气体统称为电子特种气体，它是当今兴起的高技术含量、高投人、高附加值的高新技术产业。
在半导体制造业中，可以把气体分成大宗气体和电子气体，大宗气体是指集中供应且用量较大的气体，如N2、H2、O2、Ar、He等。电子气体主要是半导体制造中刻蚀、清洗、外延生长、离子注入、掺杂、气相沉积，扩散等过程中使用的各种化学气体，如高纯NF3、SiH4、WF6、HCl、C4F6、Cl2、NH3、CF4、SF6、PH3、AsH3、BCl3、BF3、B2H6、C2F6、C3F8、C4F8、N2O等，又可称为电子特种气体。配置继电器控制，自动切换，手动吹扫，手动放空，有害性气体配备紧急切断阀。电子工业是当今推动科技发展的高新技术产业，由于所用气体的品种多、质量要求高，为有别于其它领域应用的气体。
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