广州帕纳光电科技有限公司----VARIAN分子泵维修中心；
工作条件
（1）转子转速达到20000r/min，故分子泵启动时间较长。
（2）气体处于分子流状态，故需要配备前级泵，一般使用旋片泵作为前级泵。
分子泵特点
油润滑分子泵：润滑油量小，且在前级真空段，对真空室污染小。
脂润滑分子泵：油脂量，前级配干泵
VARIAN分子泵维修中心
广州帕纳光电科技有限公司----VARIAN分子泵维修中心；
工作条件
（1）转子转速达到20000r/min，故分子泵启动时间较长。
（2）气体处于分子流状态，故需要配备前级泵，一般使用旋片泵作为前级泵。
分子泵特点
油润滑分子泵：润滑油量小，且在前级真空段，对真空室污染小。
脂润滑分子泵：油脂量，前级配干泵可获得近似无油的清洁真空。
全磁悬浮分子泵：无须润滑，与干泵一起使用，可获得无油的清洁真空环境。
20世纪70年代末开始，人们对真空装置提出更高的要求，既除了能获得高真空之外，还需要能够在排气之后导入各种各样的气体，并使其在真空装置中发生化学反应。2冲击防护：高速旋转、间隙很小、柔性支撑机械振动（预抽泵、前级泵、机械动作等）气体振动（气量突变、压强突变）意外振动（掉入异物、碰撞等）注意：没有对泵进行必要防护，容易造成分子泵严重的破坏、甚至碎泵。所采用的泵应能高抽速地排除这类富于反应性的气体，需要的排气能力甚至比低温冷凝泵还要高。为了满足这种日益增长的需求，涡轮分子泵逐渐推广普及。
分子泵的转速可达到10000r/min~50000r/min，如果直接抽大气，气流会对分子泵造成不可逆的损伤甚至报废。 分子泵无法直接将气体压缩到常压，即无法直接对大气排气。基于分子泵的工作原理，在开启分子泵前必须配置一台辅助前级泵。
水泵性能的技术参数有流量、吸程、扬程、轴功率、水功率、效率等；根据不同的工作原理可分为容积水泵、叶片泵等类型。容积泵是利用其工作室容积的变化来传递能量；叶片泵是利用回转叶片与水的相互作用来传递能量，有离心泵、轴流泵和混流泵等类型。
泵排液后中断吸入管路漏气
处理方法：检查吸入侧管道连接处及填料函密封情况；
灌泵时吸入侧气体未排完
处理方法：要求重新灌泵；
吸入侧突然被异物堵住
处理方法：停泵处理异物；
吸入大量气体
处理方法：检查吸入口有否旋涡，淹没深度是否太浅。
1.隔膜泵的极限真空足以满足高真空泵的前级耐压需求 ,用VARIAN分子泵维修中心时，真空达0.3mbar；
2.即使真空度接近极限真空时，仍有很大的抽速；；
3.低能量消耗；
4低的反倒吸漏率，在断电时不会放气；
5.高稳定性，为持续操作而设计（24h/7D）；
6.对冷凝液有很好的耐受性；
7.和分子泵相比，更好的极限真空稳定性和维护周期；
8.在真空条件下仍可稳定启动；
9.尺寸小、重量轻、振动低；
检查滚珠轴承，如内外套磨损、旷动、滚珠磨损或表面有斑点都要更换。尚可使用的用或煤油将轴承清洗干净后涂黄油保存。
检查叶轮上是否有裂痕或小孔，叶轮固定螺母是否松动，如有损坏应修理或更换。检查叶轮减磨环处间隙，如超过规定值，应修理或更换。若水泵和管道都不拆卸时，应用盖板将出口封好，以防杂物进入。
磁场屏蔽出现的问题
旋转的转子在磁场中产生涡电流，将使转子发热，将产生如下问题：
①、转子与定子间隙越来越小，造成碎片；
②、转子温升过大造成磁性电机转子退磁；
③、由于发热会减弱铝材料的强度，造成碎泵；
④、转子发热，改变转子和轴的相对位置，造成碎泵。
分子泵在磁场中运转时，径向和轴向磁场强度均不得大于30Gs。原则上，大于30Gs应使用导磁材料屏蔽。
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