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高真空涡轮分子泵修理中心诚信企业

广州帕纳光电科技有限公司----高真空涡轮分子泵修理中心; 1912年,德国人W.Gaede发明了世界上台分子泵,它的转子直径为50mm,转子上切有8个尺寸不同的槽,转速为12 000r/min,抽速约为1.5L/s。这种泵的工作原理与现代分子泵的工作原理一致,但由于故障多很快被淘汰,未能普及。 1.分析(质谱分析、电子显微镜等) 2.半导体(
高真空涡轮分子泵修理中心









广州帕纳光电科技有限公司----高真空涡轮分子泵修理中心;

1912年,德国人W.Gaede发明了世界上台分子泵,它的转子直径为50mm,转子上切有8个尺寸不同的槽,转速为12 000r/min,抽速约为1.5L/s。这种泵的工作原理与现代分子泵的工作原理一致,但由于故障多很快被淘汰,未能普及。





1.分析(质谱分析、电子显微镜等)

2.半导体(电子组件、集成电路、柔性太阳能电池等)

3.光学/玻璃(热保护,增透、反射、光学滤光膜)

4.镀膜(表面保护,装饰涂料,显示器,屏幕)

5.真空冶金(真空炉、真空钎焊、真空烧结、真空合金、)

6.泄漏检测(真空系统、车辆的油箱,安全气囊

7.研究实验(医学成像、核粒子物理,核聚变研究,激光应用和许多更多)









涡轮分子泵的转子叶片具有特定的形状,在它以20000~30000r/min的高速旋转的同时,叶片将动量传给气体分子。叶片高速旋转,其周边的线速度一般200~300m/s,相当于空气分子平均速率的一半。为了获得高真空,涡轮分子泵中装有多级。上级叶片输送过来的气体分子又会收到下级叶片的作用继续被压缩到更下级。因此,涡轮分子泵的的一个特点是对一般气体的抽出极为有效。例如对于氮气,其压缩比可以达到109 但是涡轮分子泵抽除分子质量较小的气体能力较差,例如氢气,其压缩比仅有103 。原因:防护网,前级管道解决方法:优化系统设计真空度很好的情况下,分子泵油为何会返到前级管道。


新设计了独立和一体式控制器,还开发了全新的智能控制软件。新的控制软件使用智能算法根据气体负载的变化和实时温度,自动调整泵的功率,并且为三种典型气体分别做了专有的控制曲线。控制器新增加的主动刹车功能可在不破空的情况下停机,节省工艺时间并尽可能的缩短分子泵在共振区停留的时间,延长了轴承寿命。牵引分子泵的优点是启动时间短,在分子流态下有很高的压缩比,能抽除各种气体和蒸气,特别适于抽除较重的气体。







1、分子泵为何会发生半边热,半边冷的现象?

  原因:附近有光照或其他热源

  解决方法:避免光照或热源

  2、分子泵使用中发现油发黑,请问油为什么发黑?或者多长时间油才会变黑?

  原因:冷却不良,负载太大

  解决方法:检查冷却系统,检查真空系统


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振动频率为60%-工作转速,或者是密封间隙过大,护圈松动,密封磨损

处理方法:检查、调整或更换密封;

振动频率为2倍工作转速,不对中,联轴器松动,密封装置摩擦,壳体变形,轴承损坏,支承共振,推力轴承损坏,轴弯曲,不良的配合

处理方法:检查,采取相应措施,修理、调整或更换;








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