公司产品包括石英掩膜版,苏打掩膜版,以及菲林版。苏州制版根据客户的构想、草图,定制版图,苏州制版提供高质量掩膜版以及后期的代加工服务!
在用玻璃标定板标定时候都有遇到过标定板反光问题,有时候不能用背光源,只能用前置光源,光源投射下来,玻璃本身就是反光材料,灯光一亮反光严重,甚至导致无法标定板。
光刻掩膜版材质可分为石英掩膜版、苏打掩膜版和其他(包含凸版、菲林)等。其
光刻版
公司产品包括石英掩膜版,苏打掩膜版,以及菲林版。苏州制版根据客户的构想、草图,定制版图,苏州制版提供高质量掩膜版以及后期的代加工服务!
在用玻璃标定板标定时候都有遇到过标定板反光问题,有时候不能用背光源,只能用前置光源,光源投射下来,玻璃本身就是反光材料,灯光一亮反光严重,甚至导致无法标定板。
光刻掩膜版材质可分为石英掩膜版、苏打掩膜版和其他(包含凸版、菲林)等。其中石英掩膜版和苏打掩膜版为高校和科研院所光刻时所常用的光刻掩膜版。
制版(platemaking)是将原稿成印版的统称。干版涂附的乳胶,硬度小且易吸附灰尘,不过干版还有包膜和超微颗粒干版,其中后者可以应用于芯片制造。有将铅活字排成活字版,以及用活字版打成纸型现浇铸成凸版和将图像经照像或电子分色获得底片,用底片晒制凸版、平版、凹版等一系列的制版方法。在制版中影响印版质量的因素,主要有显影液浓度、显影温度和显影时间以及显影液的循环搅拌情况、显影液的疲劳程度等。
光刻(英语:photolithography)是半导体器件制造工艺中的一个重要步骤,该步骤利用曝光和显影在光刻胶层上刻画几何图形结构,然后通过刻蚀工艺将光掩模上的图形转移到所在衬底上。③烤版温度不能过高,温度过高也会导致铝版基韧化和发软,树脂层焦化,影响耐印力。这里所说的衬底不仅包含硅晶圆,还可以是其他金属层、介质层,例如玻璃、SOS中的蓝宝石。
光刻掩膜版(又称光罩,英文为Mask Reticle),简称掩膜版,是微纳加工技术常用的光刻工艺所使用的图形母版。由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜图形结构,再通过曝光过程将图形信息转移到产品基片上。
1) 绘制生成设备可以识别的掩膜版版图文件(GDS格式)2) 使用无掩模光刻机读取版图文件,对带胶的空白掩膜版进行非接触式曝光(曝光波长405nm),照射掩膜版上所需图形区域,使该区域的光刻胶(通常为正胶)发生光化学反应3) 经过显影、定影后,曝光区域的光刻胶溶解脱落,暴露出下面的铬层4) 使用铬刻蚀液进行湿法刻蚀,将暴露出的铬层刻蚀掉形成透光区域,而受光刻胶保护的铬层不会被刻蚀,形成不透光区域。光刻掩模版通常用石英玻璃做为化学反应,选用方解石是因为其的近紫外线穿透率。这样便在掩膜版上形成透光率不同的平面图形结构。5) 在有必要的情况下,使用湿法或干法方式去除掩膜版上的光刻胶层,并对掩膜版进行清洗。
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