随着微机电技术的发展，如今的电容式加速度传感器都普遍采用的MEMS技术制造。下图显示了一种MEMS变电容式加速度传感器的结构，它的整个敏感元件由粘在一起的三个单晶硅片构成。下图显示了一种MEMS变电容式加速度传感器的结构，它的整个敏感元件由粘在一起的三个单晶硅片构成。其中上、下硅片构成两个固定电极，中间的硅片通过化学刻蚀形成由柔性薄膜支撑的具有刚性中心质量块的形状，薄膜的厚度取
天津电容位移传感器
随着微机电技术的发展，如今的电容式加速度传感器都普遍采用的MEMS技术制造。下图显示了一种MEMS变电容式加速度传感器的结构，它的整个敏感元件由粘在一起的三个单晶硅片构成。下图显示了一种MEMS变电容式加速度传感器的结构，它的整个敏感元件由粘在一起的三个单晶硅片构成。其中上、下硅片构成两个固定电极，中间的硅片通过化学刻蚀形成由柔性薄膜支撑的具有刚性中心质量块的形状，薄膜的厚度取决于该加速度传感器的量程。另外，在薄膜上还有刻蚀出的小孔，当薄膜随质量块运动时，空气流经小孔从而产生所需的阻尼力。由于采用MEMS技术得到了这种一体化的结构，它的可靠性是相当高的。
电容式位移传感器具有一般非接触式仪器所共有的非接触式特点外，还具有信噪比高，灵敏度高，零漂小，频响宽，非线性小，精度稳定性好，抗电磁干扰能力强和使用操作方便等优点。该传感器的和高可靠性已被广泛应用于成千上万的实际案例中。在国内研究所，高等院校、工厂等部门得到广泛应用，成为科研、教学和生产中一种不可缺少的测试仪器。
特点：
1 近距离高的度非接触式位置测量
2 可达亚纳米级直至皮纳米级别分辨率，为世界上所有商用电容传感器中噪音性能***
3 可基于无论是高稳定性和线性还是测量带宽而提供多种型号探头“应用定制化”的优化方案。
4 单一通道或多通道（3U欧洲卡机架安装标准）可选
直线位移传感器的使用：
MIRAN米朗科技公司生产的精密直线位移传感器，是带有一个长的持续传导轨迹分压计型传感器，在控制和测量运用中，适合于位移传感，其线性精度为士0.05%。具有移动快，寿命长等特点，符合精密油压机的控制要求。
根据实际要求在油压机的主缸、液压垫上分别安装KTF滑板式、KTC拉杆式直线位移传感器。电容式位移传感器尤其适合缓慢变化或微小量的测量，一般来说采用电容式传感器进行检测比较适宜。在一个半自动工作过程中，油压机的主缸、液压垫分别带动两只直线位移传感器移动，将采集到的两点模拟量值输入到FX2N-8AD，FX2N-8AD将此模拟输入数值(此时是电压输入)，转换成数字值，并且把他们传输到PLC主单元。主缸、液压垫选用直线位移传感器的有效测量长度为500mm、400mm。
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