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d.与泵腔
日本爱发科真空泵价格
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d.与泵腔的接触点到排气口之间的有害空间有关，有害空间中的气体不能被旋片泵排出泵腔，而会被带回吸气侧，导限压力的升高，泵中的循环泵油填充到有害空间，可消除有害空间对极限压力的影响。
e.零件的加工精度，运动件之间的间隙，轴端密封等。
2.抽气速率：单位时间内排出气体的体积，单位为L.S-1。
a.名义抽速：旋片泵出厂的标牌抽速。b.几何抽速：旋片泵在额定转速下，单位时间排出的几何容积，与吸气终了时的吸气腔容积，转子的转速，以及旋转一周的吸排气次数有关。c.实际抽速：实际测得的抽速，是入口压力的函数。
3.电机功率：与压缩气体、克服摩擦、过载有关。
旋片泵常见故障与消除方法：
1、真空度低：(1)油量不足。加油。
(2)泵油不清洁，乳化了。开气镇阀，换新油。
(3)泵油牌号不对。换油
(4)进油孔堵塞。清理进油孔，调节油量。
(5)漏气。检查轴封、排气阀、端盖等处，更换密封圈。
(6)排气阀片损坏。换新阀。
(7)由磨损造成间隙过大。检查间隙、修复。
(8)泵温升高，油的粘度过低。加大冷却水量。
工作原理扩散泵中的油在加热到沸腾温度（约为200度）后产生大量的油蒸气，油蒸气经导流管从各级喷嘴定向高速喷出。由于扩散泵进气口附近被抽气体的分压强高于蒸气流中该气体的分压强，被抽气体的分子便不断扩散到高速定向蒸气流中，随着蒸气流带走。气体分子随蒸气流碰到泵壁又反射回来，再受到蒸气流碰撞而重新沿蒸气流方向流向泵壁。经过几次碰撞后，气体分子被压缩到低真空端，再由下几级喷嘴喷出的蒸气进行多级压缩，后由前级泵抽走，而油蒸气在冷却的泵壁上被冷凝后又返回到下层重新被加热，如此循环工作达到抽气目的。
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