磁 控 靶
磁控溅射靶是真空磁控溅射镀膜的核心部件，它的重要作用主要表现在以下两个方面
(1)对于表面的镀膜，磁控溅射靶影响着膜层的均匀性与重复性；
(2)当膜层材料为贵重金属时，靶的结构决定着靶材(形成薄膜的材料)，即该贵重金属的利用率.从靶结构上分为:圆形平面靶/柱状靶/矩形靶/
常规圆形平面靶规格:
1.靶材尺寸：Ф50m
CF50高温束源炉价格
磁 控 靶
磁控溅射靶是真空磁控溅射镀膜的核心部件，它的重要作用主要表现在以下两个方面
(1)对于表面的镀膜，磁控溅射靶影响着膜层的均匀性与重复性；
(2)当膜层材料为贵重金属时，靶的结构决定着靶材(形成薄膜的材料)，即该贵重金属的利用率.从靶结构上分为:圆形平面靶/柱状靶/矩形靶/
常规圆形平面靶规格:
1.靶材尺寸：Ф50mm；Ф60mm；Ф75mm；Ф100mm；Ф150mm；可定制各类磁控靶
2.永磁靶（可溅射磁性材料)，射频溅射与直流溅射兼容，靶内水冷；
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水冷铜电极特征
水冷铜电极为感应线圈，该加热电极的两端分别通过进水水冷电缆和出水水冷电缆连接有电源控制开关，包括与进水水冷电缆对接的进水管路，以及与出水水冷电缆对接的出水管路，出水管路中在靠近出水水冷电缆的出水口处连通有缓冲室，在此缓冲室内设有用于向电源控制开关发送控制信号的温度传感器。CF50高温束源炉CF50高温束源炉是MBE的可加热至1600℃-1900℃。通过设置缓冲室和温度传感器，能够实时、准确的监测加热电极流出的冷却水的温度，并及时反馈，为熔铜炉的正常工作提供了安全保障。
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水冷铜电极介绍
水冷电缆电极是一种中空通水，用于大电流加热设备的特种电缆，通常由电极（电缆头）、导线、外护套管三部分组成。
普通水冷电缆电极使用铜管及铜排焊接而成，与设备连接不紧密；束源炉是一种蒸发镀膜装置是在高真空条件下，通过加热材料的方法，使坩埚中被蒸发物在衬底上沉积各种化合物、混合物单层或多层膜，可用于镀半导体、金属膜，氧化物、纳米级单层及多层功能膜的连续沉积。导线采用铜裸线绞制，弯曲半径大；外护套管使用普通橡胶软管，耐压低；套管与电极采用普通卡箍紧固，密封性不好，易漏水。水冷电缆电极采用整体铜棒车、铣加工而成，表面做钝化或镀锡处理；导线使用镀锡铜绞线或漆包线经数控绕线机编织而成，柔软度高，弯曲半径小；外护套管使用具有加强夹布层的合成橡胶管，耐压高。套管与电极使用紫铜卡箍在设备上冷挤压紧固，密封性好，不易漏水。
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