电子束蒸发镀膜机技术特点介绍
采用了超高真空密封技术,极限真空度高,蒸发室可进入10-5Pa量级(≤5×10-5Pa电子枪静止状态),可保证更高的镀膜纯净度,提高镀膜质量。
超高真空密封主要采用如下技术:玻璃金属焊接技术、陶瓷金属焊接技术、刀口无氧铜金属密封技术等,整机主要采用金属密封技术,前开门用氟胶圈,真空管路用不锈钢金属波纹管路(不用橡胶管路),采用高真空阀门
电子束镀膜机厂家
电子束蒸发镀膜机技术特点介绍
采用了超高真空密封技术,极限真空度高,蒸发室可进入10-5Pa量级(≤5×10-5Pa电子枪静止状态),可保证更高的镀膜纯净度,提高镀膜质量。
超高真空密封主要采用如下技术:玻璃金属焊接技术、陶瓷金属焊接技术、刀口无氧铜金属密封技术等,整机主要采用金属密封技术,前开门用氟胶圈,真空管路用不锈钢金属波纹管路(不用橡胶管路),采用高真空阀门。
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电子束蒸发镀膜机设备性能介绍
沈阳鹏程真空技术有限责任公司——生产、销售电子束产品,我们公司坚持用户为上帝,想用户之所想,急用户之所急,以诚为本,讲求信誉,以产品求发展,以质量求生存,我们热诚地欢迎各位同仁合作共创。
设备性能技术指标:
1、设备极限真空度:5×10-5Pa(电子枪静止状态)。
2、设备总体漏放率:关机12小时后,真空度≤8Pa。
3、从大气到抽到≤9×10-4Pa,40min(新设备充干燥氮气),提高了工作效率。
4、真空漏率:≤10-7Pa.l/s
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