洁净室的冷热源机组：a.电驱动的压缩式制冷机电驱动的压缩式制冷机主要以氟里昂、氨为制冷剂，民用制冷机大部分采用氟里昂作为制冷剂。按冷却介质的种类可分为空气冷却和水冷却两种形式，按压缩机种类可分为活塞式、螺杆式、离心式三种形式，按提供的冷源或热源情况可分为冷水机组和热泵机组两种形式。常用的水冷式螺杆式冷水机组冷凝器进出水温分别设置为32℃、37℃，蒸发器出口冷冻水温度设置为7度，冷量范围为580
十万级洁净室
洁净室的冷热源机组：a.电驱动的压缩式制冷机电驱动的压缩式制冷机主要以氟里昂、氨为制冷剂，民用制冷机大部分采用氟里昂作为制冷剂。按冷却介质的种类可分为空气冷却和水冷却两种形式，按压缩机种类可分为活塞式、螺杆式、离心式三种形式，按提供的冷源或热源情况可分为冷水机组和热泵机组两种形式。常用的水冷式螺杆式冷水机组冷凝器进出水温分别设置为32℃、37℃，蒸发器出口冷冻水温度设置为7度，冷量范围为580～1163kW。在防微振领域,从厂房结构形式、动力设备布置及隔振措施到精密设备防微振措施等方面的建树,为集成电路生产提供了一个优良的环境。
具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。离心式冷水机组离心式冷水机组是由离心式制冷压缩机、冷凝器、蒸发器、节流机构和调节机构以及各种控制元件组成的整体机组。
精密仪器测量洁净车间实验室装修设计的通风设计：洁净室和一般空调房间不同，其送风量不是由系统的冷热负荷来计算的，因为这样计算的风量远小于由净化要求按换气次数或房间截面风速计算得到的风量，因此，对净化空调系统，一般先按净化要求的换气次数或截面风速来计算送风量而不管其冷热负荷如何。如果仪器由微型计算机或微机控制，那么必须注意对供电电压和频率。当消声器需做成若干米长时,好分成2~3m一节的分段装置,以提高消声效果。
食品厂洁净室的装饰施工应采用无灰尘和开裂的材料。施工过程中应特别注意各种接缝的处理措施，防止裂缝和灰尘，并应使用密封剂填充接缝。接缝缝隙小于0.5毫米。建筑装饰与门窗的缝隙应密封在洁净室正压面上。（注：正压差在一种情况下有所例外：即蒸镀机构在处理某些有害物质时要求房间处于负压）。二是食品厂洁净室墙面和屋面抹灰应采用的抹灰标准，维修时间应充分，不应使用因热、湿等原因造成的变形、开裂、覆1盆子、粉化等材料。
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