真空泵机组涡旋泵已被广泛应用于诸多领域:①半导体行业:薄膜制造设备、半导体器件封装设备;②科学仪器行业:同步辐射光束线机、电子显微镜、真空泵机组极光试验设备、分析测试仪器;③机械设备行业:材料制备设备、真空检测设备、真空过滤设备、材料提纯设备、超高真空排气设备;④行业:仪器、透析机;生物制品行业:材料提纯与药品制备;⑤包装行业:食品、药品、生物制品等包装设备;⑥真空冶金行业
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真空泵机组涡旋泵已被广泛应用于诸多领域:①半导体行业:薄膜制造设备、半导体器件封装设备;②科学仪器行业:同步辐射光束线机、电子显微镜、真空泵机组极光试验设备、分析测试仪器;③机械设备行业:材料制备设备、真空检测设备、真空过滤设备、材料提纯设备、超高真空排气设备;④行业:仪器、透析机;生物制品行业:材料提纯与药品制备;⑤包装行业:食品、药品、生物制品等包装设备;⑥真空冶金行业:真空炉、纳米材料制备设备、真空检测设备等领域。经过验证的设计，可进行轻松维护所有LEYBOLDOPTICSCCS组件可轻松触及，因此维护简单。涡旋泵作为分子泵和小型低温泵的前级泵是获得无油真空系统的配置。
罗茨真空泵定期检查项目：
1、每日检查：
a）油位检查：油量过多，使温度升高，油量过少，造成润滑不良。
b）电动机负荷检查：用功率表或电流，电压表测量电动机负荷。
c）温度检查：用温度计检查泵各部位温度。
2、罗茨真空泵每月检查：
联轴器及垫片是否损坏和松动。
3、罗茨真空泵每3个月检查项目：
齿轮箱内润滑油是否变质。
4、罗茨真空泵每6个月检查项目：
a）前盖轴承箱内润滑油是否变质。
b）齿轮微量程度的磨损对转子正常运转是否产生影响，是否需要调整。
c）活塞环及活塞环衬套是否有磨损。
螺杆真空泵是把两个经过动平衡校正、用轴承支撑的螺杆，安装在真空泵腔内，并在两个螺杆之间预留合理的间隙。真空泵维修一方面是消除故障隐患，在发生上述两类故障前把隐性故障排除。螺杆泵在运转的时候，两根螺杆在泵腔内作同步高速的反向旋转，以此来产生进气和排气。因为螺杆经过严格的动平衡校正，并且螺杆之前有合理的间隙，因此真空泵工作时，螺杆之间不会相互磨擦，运转平稳，噪音低，并且运行时腔室内不需润滑油，消耗功率低，具有节能，免维修等优点，特别适用于要环境及噪音要求比较高的工艺。
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