大塚电子（苏州）有限公司主要销售用于光学特性评价检查的装置。其装置用于在LED、 OLED、汽车前灯等的光源照明产业以及液晶显示器、有机EL显示器等平板显示产业以及其相 关材料的光学特性评价检查。欢迎新老客户来电咨询！
测量示例：
SiO 2 SiN [FE-0002]的膜厚测量
半导体晶体管通过控制电流的导通状态来发送信号，但是为了防止电流泄漏和另一个晶体管的
OPTM设备
大塚电子（苏州）有限公司主要销售用于光学特性评价检查的装置。其装置用于在LED、 OLED、汽车前灯等的光源照明产业以及液晶显示器、有机EL显示器等平板显示产业以及其相 关材料的光学特性评价检查。欢迎新老客户来电咨询！
测量示例：
SiO 2 SiN [FE-0002]的膜厚测量
半导体晶体管通过控制电流的导通状态来发送信号，但是为了防止电流泄漏和另一个晶体管的电流流过任意路径，有必要隔离晶体管，埋入绝缘膜。 SiO 2（二氧化硅）或SiN（氮化硅）可用于绝缘膜。 SiO 2用作绝缘膜，而SiN用作具有比SiO 2更高的介电常数的绝缘膜，或是作为通过CMP去除SiO 2的不必要的阻挡层。之后SiN也被去除。 为了绝缘膜的性能和精准的工艺控制，有必要测量这些膜厚度。
彩色抗蚀剂（RGB）的薄膜厚度测量[FE - 0003]
液晶显示器的结构通常如右图所示。 CF在一个像素中具有RGB，并且它是非常精细的微小图案。 在CF膜形成方法中，主流是采用应用在玻璃的整个表面上涂覆基于颜料的彩色抗蚀剂，通过光刻对其进行曝光和显影，并且在每个RGB处仅留下图案化的部分的工艺。 在这种情况下，如果彩色抗蚀剂的厚度不恒定，将导致图案变形和作为滤色器导致颜色变化，因此管理膜厚度值很重要。
膜厚测试仪波谱校准 不关机状态下每日必做一次或每次关机3小时以上再次重开机必做，目的让仪器进行自我补偿调整。首先点击任务栏中的“波谱校准”，然后将波谱校准片放入仪器，将Cu-Ag合金部分移至十字线中间，镭射聚焦，测量（点击Go键）。待膜厚测试仪器自动完成每一步，红色STOP键会转变成绿色GO键后，将纯Ag部分移至十字线中间，镭射聚焦，测量（点击Go键），完成后出现“波谱校准成功”字样的对话框时，点击“确定”即可。
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