扩散硅压力传感器有什么特点
1、适合制作小量程的传感器 硅芯片的这种力敏电阻的压阻效应在零点附近的低量程段无死区,制作压力传感器的量程可小到几个Kpa。 2、输出灵敏度高 硅应变电阻的灵敏因子比金属应变计高50~100倍,故相应的传感器的灵敏度就很高,一般量程输出为100mv左右。因此对接口电路无特殊要求,使用比较方便。 3、精度高 由于传感器的
扩散硅压力传感器报价
扩散硅压力传感器有什么特点
1、适合制作小量程的传感器 硅芯片的这种力敏电阻的压阻效应在零点附近的低量程段无死区,制作压力传感器的量程可小到几个Kpa。 2、输出灵敏度高 硅应变电阻的灵敏因子比金属应变计高50~100倍,故相应的传感器的灵敏度就很高,一般量程输出为100mv左右。因此对接口电路无特殊要求,使用比较方便。 3、精度高 由于传感器的感受、敏感转换和检测三部分由同一个元件实现,没有中间转换环节,重复性和迟滞误差较小。由于单晶硅本身刚度很大,变形很小,保证了良好的线性。 扩散硅压力传感器应用场合有很多,比如供热、制冷、煤炭以及石油等领域,都会用到扩散硅压力传感器,它具有输出灵敏度高等特点。
扩散硅压力传感器的基本原理
压力传感器的制造中一般利用集成电路平面工艺,用杂志扩散或离子注入的方法形成电阻器。扩散层被用来作为应力或应变敏感的电阻器,电流边与扩散层被用来作为应力或应变敏感的电阻器,电流便与扩散层表面平行流过电阻器。在压力传感器的设计。制造时,需要了解不同温度下硅扩散层的压阻特性,选择合适的扩散条件,选用一定型号、晶向的扩散电阻以获得较高的灵敏度和晓得灵敏度系数,力求使压力传感器有良好的性能。
扩散层的平均压阻系数:扩散层中杂质往往呈误差函数(恒定表面源条件下)或余误差函数(恒定表面浓度条件)分布。也就是说,表面杂质浓度高,电流便呈现不均匀分布。虽然应力在电阻的纵剖面是均匀分布的,而压阻系数取决于杂质浓度。以此在扩散层上电阻的改变的百分量是不同的。这又使扩散层中电流在纵向中心分布并造成压阻值和应力之间的非线性。
扩散层硅的电阻温度特性与压力传感器的热零点漂移以及热灵敏度有密切的关系。
扩散硅压力传感器工作原理
扩散硅压力传感器的压力直接作用于传感器的膜片上(不锈钢或陶瓷),使膜片产生与介质压力成正比的微位移,使传感器的电阻值发生变化,和用电子线路检测这一变化,并转换输出一个对应于这一压力的标准测量信号。
星仪传感器本着多年扩散硅压力传感器行业经验,专注扩散硅压力传感器研发定制与生产,的扩散硅压力传感器生产设备和技术,建立了严格的产品生产体系,想要更多的了解,欢迎咨询图片上的热线电话!!!
扩散硅压力传感器的优点:
1、可进行二次补偿:扩散硅压力传感器的灵敏度温度系数和零点温度系数能够进行补偿,即使成品芯体也可进行二次补偿,所以传感器的优点容易发挥到很好。
2、信号输出大:扩散硅压力传感器的输出大是它很了不起的一个优点,因为输出大为后端的变送调理线路提供了很大的优势条件,分辨率高,灵敏度高。
3、体积小巧,利于安装。
4、价格相对便宜,,这也是扩散硅压力传感器在我们能够广泛应用的一个原因。
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