利用新纳米技术开发的功能金属氧化物薄膜材料（Functional Thin-Film Metal-Oxides Materials，具有优良的电磁传导、物理化学和机械性能，可广泛应用于节能照明、显示电子、化合物检测、柔性透明和气体传感等领域，具有开启后硅基半导体电子新时代的巨大潜力。传统水电镀技术流程杂乱、环境污染大、设备成本高、对作业人员身体伤害大，电镀出来产品外观损坏大，产
化学气相沉积镀膜
利用新纳米技术开发的功能金属氧化物薄膜材料（Functional Thin-Film Metal-Oxides Materials，具有优良的电磁传导、物理化学和机械性能，可广泛应用于节能照明、显示电子、化合物检测、柔性透明和气体传感等领域，具有开启后硅基半导体电子新时代的巨大潜力。传统水电镀技术流程杂乱、环境污染大、设备成本高、对作业人员身体伤害大，电镀出来产品外观损坏大，产品稳定性差。欧盟第七研发框架计划（FP7）提供980万欧元资助，总研发投入1340万欧元，由欧盟8个成员国德国（总协调）、英国、意大利、比利时、荷兰、葡萄牙、希腊和斯洛文尼亚，微纳米电子工业界联合科技界组成的欧盟微纳米电子技术平台（ORAMA ETP）。在建立紧密合作型研发公私伙伴关系（PPP）的同时，将长期致力于功能金属氧化物薄膜材料的研制开发及商业化推广应用。
实践证明，电子束钢带真空镀膜具有很多优点：
（1）可选择的镀膜材料多而不受材料熔点限制。能量密度很高的电子束可以使镀膜材在很短的时间达到3000℃~6000℃。硅橡胶经ParyleneCoating后可以在硅胶按键产品的表面形成的一种均匀而极薄（2-3μm）、且与原产品表面轮廓相一致的聚合物保护层。因此，除了热镀锌中常见的镀锌、铝、锡之外，几乎所有的金属材料都可以蒸镀，还可镀种类众多的金属氮化膜，金属氧化膜和金属炭化物及各种复合膜。这为发展新型带钢材料提供了很大的自由度。
（2）镀膜材料利用率高，环境污染小。真空镀膜属干式镀膜，没有有害液体、气体的产生。
一、镀膜作业步骤:1.镀膜前洗净。2.抽检镜片外观确认(裂边,伤痕,不洁)情况,全检镜片锁板情况(镜片倾斜）。3.确认好准备镀膜的镜片(数量,机种,面别)并做好相应记录。4.上伞,将镜片从包装盒内装到镀膜机台伞架上(主意带手套拿取镀膜板四周,勿碰到镜片。5.区分需要镀膜镜片种类面别。镀材范围广，由于溅射镀膜是通过离子的高速轰击使镀材溅射出来的，当然这个厚度是在可允许的范围内，而且控制好电流，无论重复镀多少次，膜层厚度都不会变化，膜厚的稳定性可归结为膜厚良好的可控性和重复性。6.清洁坩埚电子枪周围用铜刷刷,吸,并添加药材。7.确认晶振片,监控片是否OK在新的位置。8.确认机台内无杂物,后关门排气加热。9.镀膜选取相应的制程。10.人员镀膜过程中进行监控。11.下伞，将镀膜后的镜片从伞架取下,放入包装盒。12.抽检，主要为膜点,雾状,颜色异常,不洁。13.光谱测量采用奥林巴斯反射测定仪和U4100分光光度计。14.伞架每圈抽1PCS共5圈。15.膜强度测试(采用3M胶带粘拉膜3次)。16.光谱量测OK后可送出。
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