铝酸镧(LaAlO3)晶体具有大的禁带宽度(5-6eV),高的介电常数值(~25)和很好的热稳定性使其成为替代Si基1金属-氧化物-半导体场效应晶体管中SiO2的zui佳替代材料。LaAlO3晶体在560℃附近要发生结构相变,从高温时的立方结构变为常温时的三方结构。由于相变的存在,LaALO3晶体中出现了复杂的畴结构,这种缺陷影响 LaAlO3晶格完
铝酸镧晶体基片
铝酸镧(LaAlO3)晶体具有大的禁带宽度(5-6eV),高的介电常数值(~25)和很好的热稳定性使其成为替代Si基1金属-氧化物-半导体场效应晶体管中SiO2的zui佳替代材料。LaAlO3晶体在560℃附近要发生结构相变,从高温时的立方结构变为常温时的三方结构。由于相变的存在,LaALO3晶体中出现了复杂的畴结构,这种缺陷影响 LaAlO3晶格完整性和其作为衬底材料的性能。为了提髙此晶体的质量,人们进行着包括退火、掺杂等在内的各种探索。
铝酸镧(LaAlO3)晶体是以定化学配比的La2O3和Al2O3为原料,在200℃下用提拉法生长的,然后经标准工艺切割和抛光,制成5×10mm2的LaAlO3晶片,晶向为[001]。颜色及外观:依退火状况而不同,由棕黄色到褐色,抛光基片有自然孪晶畴;化学稳定性:室温下不溶于矿物酸,温度大于150℃时可溶于H3PO4。LaAlO3晶体尺寸(可按照客户需求,定制特殊尺寸)10×10×0.5mm、10×5×0.5mm、5×5×0.5mm、15×15×0.5mm等 dia1″×0.5、dia2″×0.5等。
铝酸镧(LaAlO3)晶体的着色主要是原料中的杂质所致,因此,我们在选择原料时采用高纯原料。另外剩余料要限制使用次数,且时刻注意避免原料的污染。铝酸镧(LaAlO3)晶体尺寸(可按照客户需求,定制特殊尺寸)10×10×0.5mm、10×5×0.5mm、5×5×0.5mm、15×15×0.5mm等 dia1″×0.5、dia2″×0.5等。铝酸镧(LaAlO3)单晶的应用,取决于大尺寸铝酸镧(LaAlO3)晶体生长。
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