广州帕纳光电科技有限公司----Agilent分子泵维修;
牵引分子泵的优点是启动时间短,在分子流态下有很高的压缩比,能抽除各种气体和蒸气,特别适于抽除较重的气体。但由于牵引分子泵抽速小,密封间隙太小,工作可靠性较差,易出机械故障,而且制造困难,实际上很少应用。后来对牵引分子泵进行了改进,出现了涡轮分子泵。日志文件可以通过电子表格(excel)程序打开并查看,只需
Agilent分子泵维修
广州帕纳光电科技有限公司----Agilent分子泵维修;
牵引分子泵的优点是启动时间短,在分子流态下有很高的压缩比,能抽除各种气体和蒸气,特别适于抽除较重的气体。但由于牵引分子泵抽速小,密封间隙太小,工作可靠性较差,易出机械故障,而且制造困难,实际上很少应用。后来对牵引分子泵进行了改进,出现了涡轮分子泵。日志文件可以通过电子表格(excel)程序打开并查看,只需点击几下屏幕,就可以方便的进行沟通,这避免反复的询问和确认,开启了一种全新的交流方式。
当分子泵出现故障无法使用时,应暂停生产,并在手动充满空气后更换备用分子泵;
当分子泵未启动时,检查前级泵和电磁阀是否正常工作;
当分子泵发生故障时,必须根据故障提示进行处理。
工作条件
(1)转子转速达到20000r/min,故分子泵启动时间较长。
(2)气体处于分子流状态,故需要配备前级泵,一般使用旋片泵作为前级泵。
分子泵特点
油润滑分子泵:润滑油量小,且在前级真空段,对真空室污染小。
脂润滑分子泵:油脂量,前级配干泵可获得近似无油的清洁真空。
全磁悬浮分子泵:无须润滑,与干泵一起使用,可获得无油的清洁真空环境。
20世纪70年代末开始,人们对真空装置提出更高的要求,既除了能获得高真空之外,还需要能够在排气之后导入各种各样的气体,并使其在真空装置中发生化学反应。所采用的泵应能高抽速地排除这类富于反应性的气体,需要的排气能力甚至比低温冷凝泵还要高。为了满足这种日益增长的需求,涡轮分子泵逐渐推广普及。延迟启动——系统容积过大,先启动前级泵,至系统压强P=200Pa时,启动分子泵。
叶轮锁母越紧越好。机械密封泄漏中,轴套与轴之间的泄漏(轴间泄漏)是比较常见的。一般认为,轴间泄漏就是叶轮锁母没锁紧,其实导致轴间泄漏的因素较多,如轴间垫失效,偏移,轴间内有杂质,轴与轴套配合处有较大的形位误差,接触面破坏,轴上各部件间有间隙,轴头螺纹过长等都会导致轴间泄漏。极限真空能满足分子泵的前级耐压需求,且干式无油不会影响真空背景环境,无需换油,维护成本低。
分子泵叶片破碎的原因:
是异物掉入;没有安装过滤网使肯定不行的,另外掉进去的东西不一定要多大,但如果硬度够了一样会造成伤害,轻则造成叶片边缘被打成锯齿状,重则打碎叶片。所以现在的设备商在安装分子泵的时候会尽量改为侧面90度或倒立安装,避免异物掉入。水泵的使用除了严格按安装使用说明书进行外,还应注意两点:一是切忌仅凭“经验”。
电压的不稳定,特别对磁浮类的分子泵损伤较大。前级泵的效率差;我们知道腔体内的大部分气体首先是通过前级泵抽出,真空达到一定程度分子泵才会启动。如果前级泵的效率差,分子泵就会比较吃力,启动速度慢,抽气时间长,电流高,分子泵温度升高等。
锁母锁紧过度只会导致轴间垫过早失效,相反适度锁紧锁母,使轴间垫始终保持一定的压缩弹性,在运转中锁母会自动适时锁紧,使轴间始终处于良好的密封状态。
新的比旧的好。相对而言,使用新机械密封的效果好于旧的,但新机械密封的质量或材质选择不当时,配合尺寸误差较大会影响密封效果;在聚合性和渗透性介质中,静环如无过度磨损,还是不更换为好。因为静环在静环座中长时间处于静止状态,使聚合物和杂质沉积为一体,起到了较好的密封作用。应用程序提供了对分子泵的远程控制功能,使您可以轻松简便的和监测泵的运行状态,查看泵的参数和参数变化曲线,如功率变化曲线,真空度变化曲线(如果安装有适配的真空计),这在您设计真空系统或抽气工艺时将会非常有用。
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