光刻胶
北京赛米莱德贸易有限公司供应美国Futurrex新型lift-off光刻胶NR9-3000PY,此款负胶的设计适用于比较宽的波长范围和i线(366纳米)曝光工具。光刻的工序下面我们来详细介绍一下光刻的工序:一、清洗硅片(WaferClean)清洗硅片的目的是去除污染物去除颗粒、减少其它缺陷,提高光刻胶黏附性基本步骤:化学清洗——漂洗——烘干。当显影后NR9-3000P
NR7 6000P光刻胶厂家
光刻胶
北京赛米莱德贸易有限公司供应美国Futurrex新型lift-off光刻胶NR9-3000PY,此款负胶的设计适用于比较宽的波长范围和i线(366纳米)曝光工具。光刻的工序下面我们来详细介绍一下光刻的工序:一、清洗硅片(WaferClean)清洗硅片的目的是去除污染物去除颗粒、减少其它缺陷,提高光刻胶黏附性基本步骤:化学清洗——漂洗——烘干。当显影后NR9-3000PY显示出负的侧壁角度,是lift-off工艺中比较简易的光刻胶。和其他胶相比NR9i-3000PY有下面的优势:
光刻工艺主要性一
光刻胶不仅具有纯度要求高、工艺复杂等特征,还需要相应光刻机与之配对调试。AFuturrex,NR7serious(负光阻)Orpr1serious(正光阻),再经过HMCTSsilyiationprocess,可以达到耐高温200度,PSPI透明polyimide,可耐高温250度以上。一般情况下,一个芯片在制造过程中需要进行10~50道光刻过程,由于基板不同、分辨率要求不同、蚀刻方式不同等,不同的光刻过程对光刻胶的具体要求也不一样,即使类似的光刻过程,不同的厂商也会有不同的要求。
针对不同应用需求,光刻胶的品种非常多,这些差异主要通过调整光刻胶的配方来实现。因此,通过调整光刻胶的配方,满足差异化的应用需求,是光刻胶制造商核心的技术。
此外,由于光刻加工分辨率直接关系到芯片特征尺寸大小,而光刻胶的性能关系到光刻分辨率的大小。限制光刻分辨率的是光的干涉和衍射效应。光刻分辨率与曝光波长、数值孔径和工艺系数相关。
PR1-2000A1NR7 6000P光刻胶厂家
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