微电子C/R建设费可能花费到$10亿。fab能更快的被建造起来,产品也就能更快达到这市场。许多半导体公司的口号是较便宜和较好的。然而“钱”将成为一个很重要的考虑因素。一些厂商认为适应性可节省一笔金钱,而适应性意指系统可任意移动或改变而不会招致到大的损失。C/R的拥有者和设计者的能力为改变一C/R的关键,所以他们从不将一开始的设计定型。
对于半导体工业而言,无
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微电子C/R建设费可能花费到$10亿。fab能更快的被建造起来,产品也就能更快达到这市场。许多半导体公司的口号是较便宜和较好的。然而“钱”将成为一个很重要的考虑因素。一些厂商认为适应性可节省一笔金钱,而适应性意指系统可任意移动或改变而不会招致到大的损失。C/R的拥有者和设计者的能力为改变一C/R的关键,所以他们从不将一开始的设计定型。

对于半导体工业而言,无尘室是一必要且不可缺之设备,其对空气中的粒子要求非常之严格,故对天花板、墙壁、地板的要求亦非常严格。地板是人员、台车及重量的运输,而清除地板所用者大部分为消毒的药品及化学药品,当我们看见地板磨损时,也就是使用期已太久,快破了,不仅会使得清静度的降级,也会因地板的磨损而发生空气中粒子的增加。

C/R很怕的就是粒子泄漏。天花板中的滤网有很多种。例如层流式C/R而花板的组成组件包含了HEPA/ULPA滤网组灯光组亦有可能包含空白的嵌板,这类型的天花板优点为,放置方式并没有严格的限制。C/R之墙壁还有一种是以薄钢制成,但必须在表层涂上一层保护层,否则亦会腐蚀,它并不容易电镀,而在表层涂上的保护层会变得易碎,很容易剥落,但若选择高质量的不锈钢,就不必涂上保护层7,而使用玻璃作的C/R会使得房间的光线大增,以及美观,但必须涂上一抗紫外线的障碍物,且可以视觉互通,较不会产生幽闭恐惧症。

清洁车间不同空气洁净度的空气过滤器的选择和布置:对于300,000级空气净化处理,可以使用亚过滤器代替过滤器; 100,10000和100000空气的空气洁净度对于净化处理,应使用用于初级,中级和过滤器的三级过滤器;中效或空气过滤器应根据小于或等于额定风量选择;中效空气过滤器应集中在净化空调的正压段;应在吹扫空调系统的末端放置或低效的空气过滤器。

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