镀膜技能在刀具、模具等金属切削加工东西方面的运用。在生活中咱们会看到金黄色的、钴铜色的、黑色的等七杂八色的钻头、铣刀、模具等,这些即是通过镀膜技能加工后的涂层东西。
(1)金黄色的是在刀具上涂镀了TiN、ZrN涂层。TiN是一代运用广泛的硬质层资料。
(2)黑色的是在切削东西上涂了TiC、CrN涂层。
(3)钴铜色的是在刀具上镀涂了TiALN涂层。
电子纳米镀膜设备
镀膜技能在刀具、模具等金属切削加工东西方面的运用。在生活中咱们会看到金黄色的、钴铜色的、黑色的等七杂八色的钻头、铣刀、模具等,这些即是通过镀膜技能加工后的涂层东西。
(1)金黄色的是在刀具上涂镀了TiN、ZrN涂层。TiN是一代运用广泛的硬质层资料。
(2)黑色的是在切削东西上涂了TiC、CrN涂层。
(3)钴铜色的是在刀具上镀涂了TiALN涂层。
20世界80年代早期随着等离子体辅助PVD工艺的显露,CVD在工具方面的应用衰落了。但由于这种工艺具有非常好的渗入特性,其在CVI、ALE等领域的工艺中有着很好的应用前景,主要用于金属涂层、陶瓷涂层、无机涂层材料。
金属有机化合物CVD(MOCVD)工艺被广泛用于电子工业,例如生产AI和GaAs膜,当用于生长单晶材料膜时,这种工艺称为金属有机气相外延(MDVPE)。
原子层外延(ALE)CVD是一种CVD衍生方法,可以控制膜的成长,现在该工艺已用于生产电荧光膜。
气相沉积主要分为两大类:
化学气相沉积(,简称CVD);
物理气相沉积(,简称PVD)。
,人们利用易挥发的液体TiCI稍加热获得TiCI气体和NH气体一起导入高温反应室,让这些反应气体分解,再在高温固体表面上进行遵循热力学原理的化学反应,生成TiN和HCI,HCi被抽走,TiN沉积在固体表面上成硬质固相薄膜。人们把这种通过含有构成薄膜元素的挥发性化合物与气态物质,在固体表面上进行化学反应,且生成非挥发性固态沉积物的过程,称为化学气相沉积(,CVD)。
PVD技术出现于,制备的薄膜具有高硬度、低摩擦系数、很好的性和化学稳定性等优点。在高速具领域的成功应用引起了制造业的高度重视,人们在开发、高可靠性涂层设备的同时,也在硬质合金、陶瓷类刀具中进行了更加深入的涂层应用研究。
与CVD工艺相比,PVD工艺处理温度低,在600℃以下时对刀具材料的抗弯强度无影响;薄膜内部应力状态为压应力,更适于对硬质合金精密复杂刀具的涂层;PVD工艺对环境无不利影响,符合现代绿色制造的发展方向。
物理气相沉积(PVD)工艺已经有100多年的历史了,等离子辅助PVD大约在80年前就申请了专利。术语“物理气相沉积”仅在60年代出现。当时,需要通过发展众所周知的技术来发展真空镀膜工艺,例如溅射,真空,等离子体技术,磁场,气体化学,热蒸发,弓形和电源控制,如Powell的书中详细描述的。在过去的30年中,等离子辅助PVD(PAPVD)被分为几种不同的电源技术,例如直流(DC)二极管,三极管,射频(RF),脉冲等离子体,离子束辅助涂层等。,该过程在基本理解上存在一些困难,因此引入了必要的更改以提供好处,例如从涂层到基材的出色附着力,结构控制以及低温下的材料沉积。
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