准分子气体的杀菌
影响灭菌的因素
湿度
灭菌物品的含水量、微生物本身的干燥程度以及环境的相对湿度对EO的灭菌效果均有影响。当相对湿度30%RH时，明显影响灭菌效果。所以，湿的微生物比干燥的容易灭杀，但是灭杀效果与相对湿度并不成正比例关系，湿度过高，EO 被稀释和水解。装卸车时应轻抬轻放，禁止采用抛丢、下滑或其它易引起碰击的方法。因此在抽真空后加药前
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准分子气体的杀菌
影响灭菌的因素
湿度
灭菌物品的含水量、微生物本身的干燥程度以及环境的相对湿度对EO的灭菌效果均有影响。当相对湿度30%RH时，明显影响灭菌效果。所以，湿的微生物比干燥的容易灭杀，但是灭杀效果与相对湿度并不成正比例关系，湿度过高，EO 被稀释和水解。装卸车时应轻抬轻放，禁止采用抛丢、下滑或其它易引起碰击的方法。因此在抽真空后加药前的湿度应控制在30%RH ～80%RH 范围内。
Ar气对人的危害
Ar本身无毒，但在高浓度时有窒息作用。当空气中Ar气浓度高于33%时就有窒息的危险。当Ar气浓度超过50%时，出现严重1症状，浓度达到75%以上时，能在数分钟内死1亡。液Ar可以伤皮肤，眼部接触可引起炎1症。为了消除上述的风险性，避免事故，人们给气瓶配上帽子，因为它是一个重要的安全附件。所以生产场所要通风，并且，从事与Ar有关的技术人员，每年定期进行职业病体检，确保身体健康。
Ar为惰性气体对人体无直接危害。但是，如果工业使用后，产生的废气则对人体危害很大，会造成矽1肺、眼部损坏等情况。急救措施皮肤接触：接触液Ar，可形成冻1伤。用水冲洗患1处，就医。
在焊接过程中，用混合气体代替单一气作为保护气体，可以有效地细化熔滴、减小飞溅、改善成形、控制熔深、防止缺陷，并降低气孔生产率，从而显著提高焊接质量。
常用的焊接保护混合气体有二元混合气、三元混合气和四元混和气。
二元混合气有Ar-He、Ar-N2、Ar-H2、Ar-O2、Ar-CO2、CO2-O2、N2-H2等；
三元混合气有Ar-He-CO2、Ar-He-N2、Ar-HeO2、Ar-O2-CO2等；
四元混合气用得比较少，主要由Ar、He、N2、O2、H2、CO2等配制而成。
准分子预混气的使用
可分为：硅系、shen系、磷系、硼系、金属氢化物、卤化物和金属烃化物七类。针对腐蚀性、毒性、燃烧性的气体，通常设计将钢瓶置于特气柜内，再通过管道将气体供应至现场附近的阀门箱，而后再进入制程机台的使用点，于进入机台腔体之前，会有独立的气体控制盘与制程控制模块联机，以质流流量计控制器进行流量之控制与进气的混合比例控制。可燃气体的爆1炸极限很多气体是具有爆1炸性的，所以在制备准分子气体的时候，应该特别考虑各组分气体的爆1炸极限，所以要从安全的角度出发，在制备准分子气体之前，必须对准分子气体混合的可行性进行研究。气体房和气柜还须有自动喷淋系统，但有的气体如三氟化氯,硅1烷遇水反应，这时就还需要考虑采用二氧化碳灭火系统。
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