真空镀膜机的真空室该如何设计呢
真空镀膜机相比大家都存有疑惑,今天来讨论一下的是关于真空镀膜设备真空室的设计问题,要是您有兴趣了解的话可以和宝瑞钛金一起来看看下面的内容。
真空镀膜技术是在真空条件下采用物理或者化学方法,使物体表面获取所需膜体,真空镀膜技术根据其采用方法的不同科分成蒸发镀、溅射镀、离子镀、束流沉积以及分子束外延等,这次分析的镀膜
真空镀膜机
真空镀膜机的真空室该如何设计呢
真空镀膜机相比大家都存有疑惑,今天来讨论一下的是关于真空镀膜设备真空室的设计问题,要是您有兴趣了解的话可以和宝瑞钛金一起来看看下面的内容。
真空镀膜技术是在真空条件下采用物理或者化学方法,使物体表面获取所需膜体,真空镀膜技术根据其采用方法的不同科分成蒸发镀、溅射镀、离子镀、束流沉积以及分子束外延等,这次分析的镀膜设备采用的是磁控溅射镀膜。
真空室是真空设备的一个主要组成部位,真空镀膜设备真空室设计主要考虑的就是密封性和可靠性,结构必须要合理,真空设备的材料生产都是在真空室内进行的,材料对真空度的影响要小,设计不能马虎,要注意一些问题。
真空电镀设备的监控方法
真空电镀设备的监控方法
1、目视监控:使用眼睛监控,因为薄膜在生长的过程中,由于干涉现象会有颜色变化,我们就是根据颜色变化来控制膜厚度的,此种方式有一定的误差,所以不是很准确,需要依靠经验。
2、极值监控法:当膜厚度增加的时候其反射率和穿透率会跟着起变化,当反射率或穿透率走到极值点的时候,就可以知道镀膜之光学厚度ND是监控波长(入)的四分之一的整倍数。但是极值的方法误差比较大,因为当反射率或者透过率在极值附近变化很慢,亦就是膜厚ND增加很多,R/T才有变化。反映比较灵敏的位置在八分之一波长处。
3.定值监控法:此方法利用停镀点不在监控波长四分之一波位,然后由计算机计算在波长一时总膜厚之反射率是多少,此即为停止镀膜点。

镀膜设备工艺要求
镀膜设备工艺要求:
真空度不得103PA,避免呈现褐色条纹或铝层厚度不均表象;操控好体系张力,敞开冷却体系,避免薄膜受热呈现拉伸变形;准确操控卷取速度(280~320m/min)、送铝速度(0.4~0.7m/min2mm铝丝)及蒸腾舟加热电流,以取得商品请求的铝层厚度(100~300A°);可预先在薄膜上涂布必定干量的底胶,并充沛枯燥,再经真空镀铝,可进步铝层与薄膜的结合力。然后在铝膜上涂布必定量的维护树脂,避免铝层氧化蜕变。经此技术构成的镀铝薄膜,耐摩擦,且不易蜕变。

维修真空镀膜机一定要按照步骤操作
维修真空镀膜机一定要按照步骤操作
首先我们要保证镀膜机与地面充分接触,扩散泵和油增压泵加热前必须接通冷却水并开维持泵。扩散泵和增压泵停止工作,维持泵半小时后才能关,1小时后断水,但泵内未冷却至80℃以下时,不得切断冷却水,以防止泵芯烧毁。
扩散泵和增压泵各留有备用水出口,若镀膜机故障或停电必须开备用出口让其冷却扩散泵和增压泵,镀膜工作前必须接通全部设备冷却进水,以防止电极和基体材料烧毁。设备各传动转轴真空密封处均采用“骨架式油封”密封形式,骨架式油封内间均充以饱和油蒸汽压很低的真空油脂和扩散泵油。使用一段时间即会损耗,必须以相同的真空油脂和扩散泵油充入,决不能用其他油品代替。

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