种形式在小规模低等级要求的洁净室车间设计中被广泛应用,对于高等级的洁净车间则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。
第二种形式的设计可以满足集成电路制造无尘车间高等级的要求,但运行成本较高,并且洁净室风速、风量调节困难,系统升级改造困难,因此操作灵活性很低。
第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低,而且操作灵活性很高,可以在不
电子洁净车间工程施工
种形式在小规模低等级要求的洁净室车间设计中被广泛应用,对于高等级的洁净车间则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。
第二种形式的设计可以满足集成电路制造无尘车间高等级的要求,但运行成本较高,并且洁净室风速、风量调节困难,系统升级改造困难,因此操作灵活性很低。
第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低,而且操作灵活性很高,可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整,这些都能很好地满足半导体制造的需求,因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为很主要的净化设计方案。

净化车间门槛部位又须根据运输与人行等不同要求作特殊构造处理。一捏单扇平开净化车间门的四边缝隙中倒有三边需作不同的处理,而且双扇净化车间门的中缝也是特殊构造。所以在净化车间门的设计中对于活动缝隙的密封处理是更为突出的问题。开启扇与框料相互搭接的槽口尺寸与槽口形式问题,是活动缝隙密封设计小必须注意的重要问题。由于静压差的降低,即可降低净化空调系统中新风的处理量,此时不仅可以减少处理为保证静压而需要的新风量所消耗的冷、热量,还可减少风机的电耗,采用变风量运行方式是较为理想的节能方式。村局、框、五金、密闭条及其作用方式等四个方面因素要综合考虑,使它们在构造亡和受力状态上相互协调,达到密封的目的。应该特别指出,净化车间门扇比窗扇大而且重,密封压紧时施力要大得多,特别平时总在不断启闭旋转,故还须从控制净化车间门扇下垂和保证净化车间门扇刚度等方面来着重考虑五金选用问题。

我们从过滤器说起,在洁净无尘室中,无论是安装在净化空调机组未端的大风量空气过滤器还是安装在有效送风口的空气过滤器,这些必需要有准确性的运行时间记录和洁净度及风量作为更换依据,如在常态的使用情况下,过滤器的使用寿命可以长达一年以上,如前端保护做的好过滤器的使用寿命可以长达二年以上一点问题也没有,当然这也要视空气过滤器的质量好坏而定,或许更长;
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