湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
操作比气体渗氮复杂,需要控制的厂艺参数多,测量温度和控制温度均匀比较难;装炉有严格要求,装炉不妥或形状不同、大小不同的零件混装炉容易出现渗层不均匀等疵病,造成废品或返修;设备费刚贵,有时需要配置
离子氮化炉
湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
操作比气体渗氮复杂,需要控制的厂艺参数多,测量温度和控制温度均匀比较难;装炉有严格要求,装炉不妥或形状不同、大小不同的零件混装炉容易出现渗层不均匀等疵病,造成废品或返修;设备费刚贵,有时需要配置辅助阳极等。
辉光放电的主要应用是利用其发光效应(如霓虹灯、日光灯)以及正常辉光放电的稳压效应。(经济型)双极性矩形波或正弦波中频靶电源的输出电压或电流的工艺调节范围偏窄,若相关参数选配合适,一般可用于磁控溅射镀膜工艺相对固定和单一的工业生产中,其优点是靶电源价格可以相对便宜。在阴-阳极间加上直流电压时,腔体内工作气体中剩余的电子和离子在电场的作用下作定向运动,于是电流从零开始增加;当极间电压足够大时,所有的带电离子都可以到达各自电极,这时电流达到某一1大值(即饱和值);
脉冲或正弦半波中频靶电源的单个脉冲的气体放电应与直流气体放电伏-安特性曲线异常辉光放电段及之前段的变化规律相符。实现了辉光离子渗氮炉真正的全自动控制,即用户在使用辉光离子渗氮炉时,只需在触摸屏上点击启动键,所有的操作步骤会由程序自动控制。可以将其视为气体放电伏-安特性在单个脉冲的放电中的复现。脉冲直流靶电源在脉冲期间起辉溅射,在脉冲间隙自然灭辉(因频率较高,肉眼难以分辨)。
射频磁控溅射气体放电时,由于射频靶电源输出交变高频正弦电压波形,致使电子碰撞工作气体的几率大为增多,工作气体离化率高,等离子阻抗低,射频磁控溅射膜层沉积速率为二极射频溅射的数倍。这些光区是空间电离过程及电荷分布所造成的结果,与气体类别、气体压力、电极材料等因素有关,这些都可以从放电理论上作出解释。辉光放电的特征是电流强度较小(约几毫安),温度不高,故电管内有特殊的亮区和暗区,呈现瑰丽的发光现象。 。
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